Lift-Off-Prozesmodul

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren. Als Prozesschemikalie muss Dimethylsulfoxid (DMSO) verwendet werden. Das DMSO muss aufgeheizt und auf hohen Druck gebracht werden können. Zudem muss hochreines Wasser (DIW) mit 0,055 μS/cm zum Spülen verwendet werden können. Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme …

CPV: 38000000 Sprzęt laboratoryjny, optyczny i precyzyjny (z wyjątkiem szklanego)
Termin:
12 maja 2025 12:00
Rodzaj terminu:
Złożenie oferty
Miejsce wykonania:
Lift-Off-Prozesmodul
Miejsce udzielenia zamówienia:
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Numer nagrody:
Z.841ha-0252#0001

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Rechtsform des Erwerbers : Zentrale Regierungsbehörde
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Allgemeine öffentliche Verwaltung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Lift-Off-Prozesmodul
Beschreibung : Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren. Als Prozesschemikalie muss Dimethylsulfoxid (DMSO) verwendet werden. Das DMSO muss aufgeheizt und auf hohen Druck gebracht werden können. Zudem muss hochreines Wasser (DIW) mit 0,055 μS/cm zum Spülen verwendet werden können.
Kennung des Verfahrens : 5d1ec039-ca8a-42f9-a4d9-1b8185614505
Interne Kennung : Z.841ha-0252#0001
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein
Begründung des beschleunigten Verfahrens :
Zentrale Elemente des Verfahrens :

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

2.1.2 Erfüllungsort

Land, Gliederung (NUTS) : Berlin ( DE300 )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

2.1.6 Ausschlussgründe

Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter : Abweichend von dem voranstehenden Grund, gelten die Ausschlussgründe gemäß §123, §124, §125 GWB. Hierzu sind folgende Unterlagen einzureichen: Erklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen (s. Punkt 7.3 der Leistungsbeschreibung)

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0000

Titel : Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren.
Beschreibung : Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren. Als Prozesschemikalie muss Dimethylsulfoxid (DMSO) verwendet werden. Das DMSO muss aufgeheizt und auf hohen Druck gebracht werden können. Zudem muss hochreines Wasser (DIW) mit 0,055 μS/cm zum Spülen verwendet werden können.
Interne Kennung : Z.841ha-0252#0001

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

5.1.2 Erfüllungsort

Land, Gliederung (NUTS) : Berlin ( DE300 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.3 Geschätzte Dauer

Andere Laufzeit : Unbekannt

5.1.6 Allgemeine Informationen

Vorbehaltene Teilnahme : Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet : nein
Zusätzliche Informationen : Hinweis gemäß § 11 (3) Vergabeverordnung (VgV): Die zur Nutzung der e-Vergabe-Plattformeinzusetzenden elektronischen Mittel sind die Clients der e-Vergabe-Plattform und die elektronischenWerkzeuge der e-Vergabe-Plattform. Diese werden über die mit "Anwendungen" bezeichneten Menüpunkte auf www.evergabe-online.de zur Verfügung gestellt. Hierzu gehören für Unternehmen derAngebots-Assistenten (AnA) und der Signatur-Client für Bieter (Sig-Client) für elektronische Signaturen. Die technischen Parameter zur Einreichung von Teilnahmeanträgen, Angeboten undInteressensbestätigungen verwendeten elektronischen Mittel sind durch die Clients der e-Vergabe-Plattform und die elektronischen Werkzeuge der e-Vergabe-Plattform bestimmt. VerwendeteVerschlüsselungs- und Zeiterfassungsverfahren sind Bestandteil der Clients der e-Vergabe-Plattform sowie der Plattform selber und der elektronischen Werkzeuge der e-Vergabe-Plattform. WeitergehendeInformationen stehen auf https://www.evergabe-online.info bereit. Zur Angebotsabgabe ist der beiliegende PTB-Angebotsvordruck zu verwenden. Zusätzliche Erläuterungen, Spezifikationen etc. auf einer separaten Anlage zum Angebot sind zulässig. Allgemeine Geschäfts-, Verkaufs- oder Lieferbedingungen des Bieters werden nicht akzeptiert. Fragen zu den Vergabeunterlagen sind über die e- Vergabeplattform des Bundes ( www.evergabe-online.de) einzureichen. Bieterfragen werden grundsätzlich nur beantwortet, wenn sie bis spätestens 10 Kalendertage vor Ablauf der Angebotsfrist gestellt werden.

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.9 Eignungskriterien

Kriterium :
Art : Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Bezeichnung : Zum Nachweis der technischen und beruflichen Leistungsfähigkeit reichen Sie bitte eine Liste mit geeigneten Referenzen in Bezug zur gegenständlichen Leistung ein. (s. Punkt 7.3 der Leistungsbeschreibung)
Kriterium :
Art : Sonstiges
Bezeichnung : Prüfung der Eignung und des Nichtvorliegens von Ausschlussgründen ( s. Punkt 7.3 der Leistungsbeschreibung)
Beschreibung : - Beleg des Nichtvorliegens von Ausschlussgründen gem. § 48 VgV (s. Erklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen) - Beleg des Nichtvorliegens von Verstößen gegen menschrechtliche (gem. § 2 Abs. 2 Nr. 1-12 LkSG) und umweltbezogene Pflichten (gem. § 2 Abs. 3 Nr. 1-8 LkSG) innerhalb des Unternehmens und der Unternehmen der Zulieferer (s. Erklärung Lieferkettensorgfaltspflichtengesetz) - Beleg der Nichtzugehörigkeit zu den in Artikel 5k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022 genannten Personen oder Unternehmen (s. Erklärung zum 5. EU-Sanktionspaket)

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung :
Beschreibung : Gewichtung: 50 % (Details s. Anlage Besondere Hinweise zur Wertung der Angebote)
Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung :
Beschreibung : Gewichtung: 50 % (Details s. Anlage Besondere Hinweise zur Wertung der Angebote)
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann :
Begründung, warum die Gewichtung der Zuschlagskriterien nicht angegeben wurde :

5.1.11 Auftragsunterlagen

Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind : Deutsch

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe

Bedingungen für die Einreichung :
Elektronische Einreichung : Erforderlich
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können : Deutsch
Elektronischer Katalog : Nicht zulässig
Varianten : Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen : Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote : 12/05/2025 12:00 +02:00
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss : 7 Woche
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können :
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen : Unternehmensbezogene Unterlagen, insbesondere Eigenerklärungen, Angaben, Bescheinigungen oder sonstige Nachweise
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung :
Eröffnungsdatum : 13/05/2025
Auftragsbedingungen :
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen : Nein
Elektronische Rechnungsstellung : Erforderlich
Aufträge werden elektronisch erteilt : ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet : ja

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammern des Bundes - Bundeskartellamt -
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Physikalisch-Technische Bundesanstalt -
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt : Physikalisch-Technische Bundesanstalt -
Organisation, die Angebote bearbeitet : Physikalisch-Technische Bundesanstalt -

8. Organisationen

8.1 ORG-0000

Offizielle Bezeichnung : Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Registrierungsnummer : 0204: 991-01483-67
Stadt : Berlin
Postleitzahl : 10587
Land, Gliederung (NUTS) : Berlin ( DE300 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 30 34817453
Internetadresse : https://www.ptb.de
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
Organisation, die Angebote bearbeitet

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammern des Bundes - Bundeskartellamt
Registrierungsnummer : t: 022894990
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53126
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : 000
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-0002

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung : a0084d9d-1415-4c7b-8b85-f2ea2be58d33 - 01
Formulartyp : Wettbewerb
Art der Bekanntmachung : Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 04/04/2025 00:00 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00223262-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 68/2025
Datum der Veröffentlichung : 07/04/2025