Incoming Wafer Clean (IZM-26) - PR896606-2590-P

Incoming Wafer Clean (IZM-26) Incoming Wafer Clean (IZM-26) 1 Stück: Incoming Wafer Cleaner Der "Incoming Wafer Cleaner" ist für jede Art von mikroelektronischen Bauelementen oder Gehäusetechnologie unerlässlich, da die Substrate von Partikeln und Verunreinigungen befreit werden müssen, bevor sie im Reinraum verarbeitet werden können. Da die Strukturgröße der in den …

CPV: 31712100 Maszyny i aparatura mikroelektroniczna
Termin:
12 maja 2025 09:00
Rodzaj terminu:
Złożenie oferty
Miejsce wykonania:
Incoming Wafer Clean (IZM-26) - PR896606-2590-P
Miejsce udzielenia zamówienia:
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Numer nagrody:
PR896606-2590-P

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers : Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Allgemeine öffentliche Verwaltung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Incoming Wafer Clean (IZM-26) - PR896606-2590-P
Beschreibung : Incoming Wafer Clean (IZM-26)
Kennung des Verfahrens : 848e3261-5aee-42ed-a405-5dbc5c787145
Interne Kennung : PR896606-2590-P
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein
Begründung des beschleunigten Verfahrens :
Zentrale Elemente des Verfahrens :

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte

2.1.2 Erfüllungsort

Stadt : Berlin
Postleitzahl : 13355
Land, Gliederung (NUTS) : Berlin ( DE300 )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

2.1.6 Ausschlussgründe

Rein innerstaatliche Ausschlussgründe :

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0000

Titel : Incoming Wafer Clean (IZM-26) - PR896606-2590-P
Beschreibung : 1 Stück: Incoming Wafer Cleaner Der "Incoming Wafer Cleaner" ist für jede Art von mikroelektronischen Bauelementen oder Gehäusetechnologie unerlässlich, da die Substrate von Partikeln und Verunreinigungen befreit werden müssen, bevor sie im Reinraum verarbeitet werden können. Da die Strukturgröße der in den Bauelementen eingebauten Merkmale im Mikrometerbereich liegt, können selbst kleinste Partikel fatale Defekte verursachen und so die Fertigungsausbeute erheblich verringern. Die Reinigung der Substrate muss zusätzlich nach jedem Prozessschritt und/oder nach der externen Bearbeitung der Substrate erfolgen. Mit einer hochmodernen Eingangsreinigung wird das Wafer-Bonden in verschiedenen Technologien ohne Ertragseinbußen erreicht. Externe Zulieferer können für diesen Prozess nicht genutzt werden, da die Substrate rechtzeitig innerhalb der Prozesskette gereinigt werden müssen (oder als Incoming Clean aus ausgelagerten Prozessen). Entsprechende Anlagen sind am IZM bisher nicht vorhanden. Die benötigten Chemikalien können DI-Hochdruckwasser oder andere Chemikalien (wie Lösungsmittel oder Säuren/Basen) sein, zur Verbesserung der Reinigungseffizienz können auch mechanisch unterstützte Methoden (z.B. Schrubben) eingesetzt werden. Das Gerät sollte sowohl für die automatische Handhabung von Träger zu Träger als auch für die halbautomatische Handhabung einzelner Substrate (runde/quadratische Form) geeignet sein. Optionen: - Die Maschine muss einen 200-mm-Waferträger haben. - Die Maschine muss einen 150-mm-Waferträger haben. - Die Maschine muss einen 100-mm-Waferträger haben. - Das System muss in der Lage sein, einen beheizten Piranha-Reinigungsprozess (H2SO4/H2O2) durchzuführen. - Das System muss in der Lage sein, ein Siliziumdioxid-Ätzverfahren (HF:H2O) durchzuführen. - Das System muss in der Lage sein, mit Fotolack maskierte Oxid-Ätzprozesse durchzuführen. - Das System muss in der Lage sein, einen Siliziumnitrid-Ätzprozess (HF:H2O) durchzuführen. - Das System muss eine SECS/GEM-Schnittstelle aktivieren. - Die Systemsoftware (und das Betriebssystem) müssen den Aufbau einer Fernverbindung zu internen Fernbetrachtern ermöglichen. - Die Systemsoftware (und das Betriebssystem) müssen den Aufbau einer Fernverbindung zu externen Servicetechnikern ermöglichen. - Die Systemsoftware muss eine Backup-Funktionalität ermöglichen, z. B. durch Konfigurationsdateien oder eine spezielle Systemfunktion.
Interne Kennung : LOT-0000

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte

5.1.2 Erfüllungsort

Stadt : Berlin
Postleitzahl : 13355
Land, Gliederung (NUTS) : Berlin ( DE300 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.3 Geschätzte Dauer

Laufzeit : 11 Monat

5.1.6 Allgemeine Informationen

Vorbehaltene Teilnahme : Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben : Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet : nein

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.9 Eignungskriterien

Kriterium :
Art : Eignung zur Berufsausübung
Kriterium :
Art : Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Kriterium :
Art : Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Kriterium :
Art : Sonstiges
Beschreibung : Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-195f020da9d-616f7c6e92b0871f

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Technische Ausführung
Beschreibung : Technische Ausführung
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 65
Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : Preis
Beschreibung : Preis
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 35
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann :
Begründung, warum die Gewichtung der Zuschlagskriterien nicht angegeben wurde :

5.1.11 Auftragsunterlagen

Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind : Deutsch

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe

Bedingungen für die Einreichung :
Elektronische Einreichung : Zulässig
Adresse für die Einreichung : https://vergabe.fraunhofer.de
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können : Deutsch
Elektronischer Katalog : Nicht zulässig
Varianten : Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen : Zulässig
Frist für den Eingang der Angebote : 12/05/2025 09:00 +02:00
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können :
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen : Siehe Vergabeunterlagen
Auftragsbedingungen :
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen : Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags : Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Elektronische Rechnungsstellung : Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt : nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet : nein

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammern des Bundes -
Informationen über die Überprüfungsfristen : Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 -
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. -

8. Organisationen

8.1 ORG-7001

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer : DE 129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon : +49891205-0
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1 ORG-7004

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer : t:022894990
Postanschrift : Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53113
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-7005

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer : DE-129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 89 1205-0
Internetadresse : https://www.fraunhofer.de
Rollen dieser Organisation :
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1 ORG-7006

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung : e0aa7669-002f-4220-9e05-691dc3d2809d - 01
Formulartyp : Wettbewerb
Art der Bekanntmachung : Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 10/04/2025 08:11 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00237844-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 72/2025
Datum der Veröffentlichung : 11/04/2025