Dostawa urządzenia do pomiaru właściwości cienkich warstw metodą elipsometrii spektroskopowej

Dostawa urządzenia do pomiaru właściwości cienkich warstw metodą elipsometrii spektroskopowej do Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT 1. Przedmiotem zamówienia jest dostawa urządzenia do pomiaru właściwości cienkich warstw metodą elipsometrii spektroskopowej. do Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej, ul. Poleczki 19, 02-822 Warszawa. 2. Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia …

CPV: 38500000 Aparatura kontrolna i badawcza
Termin:
14 lutego 2025 10:00
Rodzaj terminu:
Złożenie oferty
Miejsce wykonania:
Dostawa urządzenia do pomiaru właściwości cienkich warstw metodą elipsometrii spektroskopowej
Miejsce udzielenia zamówienia:
Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej
Numer nagrody:
CEZAMAT/ZP51/2024

1. Nabywca

1.1 Nabywca

Oficjalna nazwa : Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej
Status prawny nabywcy : Podmiot prawa publicznego
Sektor działalności instytucji zamawiającej : Edukacja

2. Procedura

2.1 Procedura

Tytuł : Dostawa urządzenia do pomiaru właściwości cienkich warstw metodą elipsometrii spektroskopowej
Opis : Dostawa urządzenia do pomiaru właściwości cienkich warstw metodą elipsometrii spektroskopowej do Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT
Identyfikator procedury : 3c591828-2c2d-4a1a-943b-0002c1cc63e9
Wewnętrzny identyfikator : CEZAMAT/ZP51/2024
Rodzaj procedury : Otwarta
Procedura jest przyspieszona : nie
Uzasadnienie procedury przyspieszonej :
Główne aspekty procedury :

2.1.1 Przeznaczenie

Charakter zamówienia : Dostawy
Główna klasyfikacja ( cpv ): 38500000 Aparatura kontrolna i badawcza

2.1.2 Miejsce realizacji

Podpodział krajowy (NUTS) : Miasto Warszawa ( PL911 )
Kraj : Polska
Informacje dodatkowe : Warszawa

2.1.4 Informacje ogólne

Informacje dodatkowe : Dokumenty i oświadczenia wymagane od Wykonawców określa SWZ. Oświadczenie o niepodleganiu wykluczeniu z postępowania na podstawie art. 5k rozporządzenia Rady (UE) nr 833/2014 i art. 7 Ustawy o szczególnych rozwiązaniach w zakresie przeciwdziałaniu wspierania agresji na Ukrainę należy złożyć wraz ofertą. Pozostałe podmiotowe środki dowodowe (w tym JEDZ) składa tylko Wykonawca, którego oferta została najwyżej oceniona na wezwanie Zamawiającego. Zgodnie z art. 257 pkt 1 Pzp, Zamawiający przewiduje możliwość unieważnienia przedmiotowego postępowania, jeżeli środki, które Zamawiający zamierzał przeznaczyć na sfinansowanie całości lub części zamówienia, nie zostały mu przyznane
Podstawa prawna :
Dyrektywa 2014/24/UE

5. Część zamówienia

5.1 Techniczny ID partii : LOT-0001

Tytuł : Dostawa urządzenia do pomiaru właściwości cienkich warstw metodą elipsometrii spektroskopowej
Opis : 1. Przedmiotem zamówienia jest dostawa urządzenia do pomiaru właściwości cienkich warstw metodą elipsometrii spektroskopowej. do Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej, ul. Poleczki 19, 02-822 Warszawa. 2. Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia określony został w załączniku nr 2 do SWZ – Opis przedmiotu zamówienia.

5.1.1 Przeznaczenie

Charakter zamówienia : Dostawy
Główna klasyfikacja ( cpv ): 38500000 Aparatura kontrolna i badawcza
Opcje :
Opis opcji : Zamawiający przewiduje prawo opcji polegające na rozszerzeniu zakresu zamówienia o dostawę następujących elementów: 1) Oprogramowanie do modelowania wymiarów nanostruktur periodycznych o zadanej geometrii na bazie pomiaru elipsometrycznego metodą Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA). 2) Dostawa dodatkowego wolnostojącego reflektrometru spektroskopowego o następujących parametrach: a. Urządzenie musi posiadać wszystkie moduły niezbędne do realizacji pomiaru, w tym moduł oświetlenia, światłowód, zasilacz oraz układ detekcji. b. Zakres spektralny pomiaru: 450-900 nm lub szerszy, realizowany za pomocą dostarczonego przez Wykonawcę źródła światła c. Konfiguracja: światłowód zamocowany pionowo nad próbką. d. Oprogramowanie: i. Oprogramowanie umożliwiające szybką analizę wyników i pomiar grubości warstwy ii. Oprogramowanie musi być wyposażone w bazę materiałową uwzględniającą standardowe materiały stosowane w przemyśle półprzewodnikowym, takie jak krzem, tlenek krzemu, azotek krzemu, polimery iii. Oprogramowanie musi umożliwiać dodawanie własnych materiałów za pomocą powszechnie stosowanych modeli dyspersyjnych, w tym modelu Cauchy’ego iv. Oprogramowanie musi być dostarczone w wersji instalacyjnej. e. System operacyjny: zainstalowany system operacyjny Windows 11 Professional PL 64-bit lub równoważny. Parametry równoważności: i. Zainstalowany system niewymagający ręcznego wpisywania klucza licencyjnego i aktywacji za pomocą telefonu lub Internetu; ii. Pełna integracja z domeną Active Directory MS Windows (posiadaną przez Zamawiającego) opartą na systemie Windows Server 2012; iii. Zarządzanie komputerami poprzez Zasady Grup (GPO) Active Directory MS Windows (posiadaną przez Zamawiającego), WMI; iv. Pełna integracja z VPN FortiClient, Microsoft Office 365, Exchange 2019; v. Graficzny interfejs w języku polskim i/lub angielskim vi. Wszystkie w/w funkcjonalności nie mogą być realizowane z zastosowaniem wszelkiego rodzaju emulacji i wirtualizacji Microsoft Windows 11; vii. W przypadku systemu operacyjnego równoważnego należy podać jego nazwę w ofercie oraz załączyć oświadczenie i dokumenty potwierdzające równoważność systemu operacyjnego (dokumenty te stanowią integralną oferty i nie podlegają uzupełnieniu). viii. Odzyskiwanie systemu operacyjnego: partycja recovery lub dołączony nośnik zewnętrzny, umożliwiający przywrócenie systemu operacyjnego do stanu początkowego. ix. W przypadku braku możliwości dostarczenia komputera z systemem operacyjnym opisanym powyżej zamawiający dopuszcza możliwość użycia komputera pośredniczącego w komunikacji z urządzeniem spełniającego opisane wymagania. f. Jednostka sterująca i. Komputer lub zestaw komputerów do sterowania urządzeniem dostosowany do pracy w laboratorium czystym (clean-room) i obsługi w rękawiczkach. ii. Karta sieciowa: wbudowana ze złączem RJ-45 1000 Mb/s z obsługą IEEE 802.1x. iii. Klawiatura w układzie ANSI US QWERTY iv. Monitor o przekątnej co najmniej 24”. g. Dokumentacja techniczna urządzenia i inne. i. Bezterminowa licencja do pełnego wykorzystania urządzenia i jego funkcji do zastosowań zarówno naukowych, badawczo-rozwojowych oraz komercyjnych. ii. Komplet dokumentacji do Urządzenia w języku polskim i/lub angielskim, w tym instrukcja obsługi, pełne schematy elektryczne, optyczne, mechaniczne i systemu próżniowego urządzenia oraz instrukcja obsługi oprogramowania dostarczonego wraz z Urządzeniem. iii. Dokumentacja urządzenia musi być dostarczona w wersji drukowanej (na papierze przystosowanym do laboratorium typu clean-room) oraz w wersji cyfrowej. Pliki cyfrowe powinny być dostarczone na półprzewodnikowym nośniku danych (np. pendrive lub zewnętrzny dysk SSD). iv. Transport, wniesienie oraz ustawienie w odpowiednim miejscu jest po stronie wykonawcy. v. Gwarancja na czas bezawaryjnej pracy urządzenia – 12 miesięcy. Gwarancja obejmuje części zamienne i materiały zużywalne oraz niezbędne roboczogodziny na miejscu w zależności od zaistniałego zdarzenia. Gwarancja obejmuje jednorazową prewencyjną akcję serwisową przed końcem okresu gwarancji. vi. Wykonawca zapewnia dostęp do części zamiennych do urządzenia przez co najmniej 7 lat od dostarczenia urządzenia. h. Urządzenie musi umożliwiać pomiar grubości monowarstw w zakresie od 30 nm do 15 µm lub szerszym. i. Urządzenie musi zapewniać dokładność pomiaru grubości nie gorszą niż 1 nm dla pomiaru tlenku krzemu (grubość rzędu 100-500 nm) na podłożu krzemowym. Dopuszczalny rozrzut wyników pomiaru grubości PMMA na podłożu krzemowym (rzędu 100-500 nm) z 5 niezależnych pomiarów w tym samym punkcie nie może być większy niż 1,0%. spełniających wymagania określone w opisie przedmiotu zamówienia w rozdziale J. Warunki realizacji prawa opcji zostały określone w we wzorze umowy ( załącznik nr 3 do SWZ)

5.1.2 Miejsce realizacji

Adres pocztowy : ul. Poleczki 19
Miejscowość : Warszawa
Kod pocztowy : 02-822
Podpodział krajowy (NUTS) : Miasto Warszawa ( PL911 )
Kraj : Polska
Informacje dodatkowe :

5.1.3 Szacowany okres obowiązywania

Data zakończenia trwania : 30/11/2025
Okres obowiązywania : 7 Miesiąc

5.1.6 Informacje ogólne

Zastrzeżony udział : Udział nie jest zastrzeżony.
Zastrzeżony udział : Udział nie jest zastrzeżony.
Należy podać imiona i nazwiska oraz kwalifikacje zawodowe członków personelu wyznaczonych do realizacji zamówienia : Niewymagane
Projekt zamówienia w pełni lub częściowo finansowany z funduszy UE
Informacje o funduszach Unii Europejskiej
Identyfikator funduszy UE : Umowa nr KPOD.01.18-IW.03-0011/23 o objęcie wsparciem przedsięwzięcia: Centrum Kompetencji Mikroelektronika i Fotonika - Projekt NextGen Eu
Zamówienie jest objęte zakresem Porozumienia w sprawie zamówień rządowych (GPA) : tak
Informacje dodatkowe : Termin wykonania umowy , w tym dostawa i montaż aparatury oraz instruktaż dla pracowników Zamawiającego - nie później niż do 30 listopada 2025 roku. Zamawiający żąda od Wykonawców wniesienia wadium w wysokości 6 000,00 zł. Wykonawca przed podpisaniem umowy, zobowiązany jest do wniesienia zabezpieczenia należytego wykonania umowy, w wysokości 2% kwoty całkowitego Wynagrodzenia określonego w umowie. Zabezpieczenie służy pokryciu roszczeń z tytułu niewykonania lub nienależytego wykonania umowy.

5.1.10 Kryteria udzielenia zamówienia

Kryterium :
Rodzaj : Cena
Nazwa : Cena oferty podstawowej - bez prawa opcji (C)
Opis : Cena oferty podstawowej - bez prawa opcji Waga kryterium - 60
Waga (wartość punktowa, dokładna) : 60
Kryterium :
Rodzaj : Jakość
Nazwa :
Opis : b) Zakres spektralny spektrometru FTIR (ZS) – 20 punktów
Waga (wartość punktowa, dokładna) : 20
Kryterium :
Rodzaj : Koszt
Nazwa : Cena opcji nr 1 – ( CO1)– 5 punktów
Opis : c) Cena opcji nr 1 – ( CO1)– 5 punktów
Waga (wartość punktowa, dokładna) : 5
Kryterium :
Rodzaj : Koszt
Nazwa : Cena opcji nr 2 – ( CO2)– 15 punktów
Opis : Cena opcji nr 2 – ( CO2)– 15 punktów
Waga (wartość punktowa, dokładna) : 15
Opis stosowanej metody, jeżeli nie można przypisać wagi kryteriom :
Uzasadnienie, dlaczego nie określono wagi kryteriów udzielenia zamówienia :

5.1.11 Dokumenty zamówienia

Kanał komunikacji ad hoc :
Nazwa : Platforma zakupowa

5.1.12 Warunki udzielenia zamówienia

Warunki zgłoszenia :
Zgłoszenie elektroniczne : Wymagane
Języki, w których można składać oferty lub wnioski o dopuszczenie do udziału : angielski, polski
Katalog elektroniczny : Niedozwolone
Wymagane jest użycie zaawansowanego lub kwalifikowanego podpisu elektronicznego lub pieczęci elektronicznej (zgodnie z definicją w rozporządzeniu (UE) nr 910/2014)
Oferty wariantowe : Niedozwolone
Opis gwarancji finansowej : Wykonawca przed podpisaniem umowy, zobowiązany jest do wniesienia zabezpieczenia należytego wykonania umowy, w wysokości 2% kwoty całkowitego Wynagrodzenia określonego w umowie. Zabezpieczenie służy pokryciu roszczeń z tytułu niewykonania lub nienależytego wykonania umowy.
Termin składania ofert : 14/02/2025 10:00 +02:00
Termin, do którego oferta musi pozostać ważna : 90 Dzień
Informacje na temat publicznego otwarcia :
Data otwarcia : 14/02/2025 10:15 +02:00
Informacje dodatkowe : Otwarcie odbywa się na platformie elektronicznej. Niezwłocznie po otwarciu ofert zamawiający opublikuje informacje z otwarcia.
Warunki zamówienia :
Wykonanie zamówienia musi odbywać się w ramach programów zatrudnienia chronionego : Nie
Warunki dotyczące realizacji zamówienia : Warunki realizacji zamówienia zostały określone w w projektowanych postanowieniach umowy stanowiących załącznik nr 3 do SWZ.
Fakturowanie elektroniczne : Dozwolone
Stosowane będą zlecenia elektroniczne : nie
Stosowane będą płatności elektroniczne : tak
Informacje o terminach odwołania : Odwołanie wnosi się w terminie 10 dni od dnia przekazania informacji o czynności zamawiającego stanowiącej podstawę jego wniesienia, jeżeli informacja została przekazana przy użyciu środków komunikacji elektronicznej. Szczegółowe informacje dotyczące przysługujących wykonawcy środków ochrony prawnej zawiera dział IX ustawy Pzp.

5.1.15 Techniki

Umowa ramowa :
Brak umowy ramowej
Informacje o dynamicznym systemie zakupów :
Brak dynamicznego systemu zakupów
Aukcja elektroniczna : nie

5.1.16 Dalsze informacje, mediacja i odwołanie

Organ odwoławczy : Krajowa Izba Odwoławcza
Organizacja udzielająca dodatkowych informacji na temat postępowania o udzielenie zamówienia : Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej
Organizacja przyjmująca wnioski o dopuszczenie do udziału : Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej
Organizacja rozpatrująca oferty : Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej
TED eSender : Publications Office of the European Union

8. Organizacje

8.1 ORG-0001

Oficjalna nazwa : Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej
Numer rejestracyjny : 5250005834
Departament : Zamówienia publiczne
Adres pocztowy : ul. Poleczki 19
Miejscowość : Warszawa
Kod pocztowy : 02-822
Podpodział krajowy (NUTS) : Miasto Warszawa ( PL911 )
Kraj : Polska
Punkt kontaktowy : Sekretariat
Telefon : +48 (22) 182 10 22
Adres strony internetowej : https://www.cezamat.eu/
Adres na potrzeby wymiany informacji (URL) : https://platformazakupowa.pl/pn/pw_edu/proceedings
Role tej organizacji :
Nabywca
Organizacja udzielająca dodatkowych informacji na temat postępowania o udzielenie zamówienia
Organizacja przyjmująca wnioski o dopuszczenie do udziału
Organizacja rozpatrująca oferty

8.1 ORG-0002

Oficjalna nazwa : Krajowa Izba Odwoławcza
Numer rejestracyjny : 5262239325
Adres pocztowy : ul. Postępu 17A
Miejscowość : Warszawa
Kod pocztowy : 02-676
Podpodział krajowy (NUTS) : Miasto Warszawa ( PL911 )
Kraj : Polska
Punkt kontaktowy : Sekretariat Biura Odwołań
Telefon : +48224587801
Faks : +48224587800
Adres strony internetowej : www.uzp.gov.pl
Adres na potrzeby wymiany informacji (URL) : www.uzp.gov.pl
Role tej organizacji :
Organ odwoławczy

8.1 ORG-0000

Oficjalna nazwa : Publications Office of the European Union
Numer rejestracyjny : PUBL
Miejscowość : Luxembourg
Kod pocztowy : 2417
Podpodział krajowy (NUTS) : Luxembourg ( LU000 )
Kraj : Luksemburg
Telefon : +352 29291
Adres strony internetowej : https://op.europa.eu
Role tej organizacji :
TED eSender

11. Informacje o ogłoszeniu

11.1 Informacje o ogłoszeniu

Identyfikator/wersja ogłoszenia : fe9af245-78e0-4ebc-8a0c-80dfd0a71b8b - 01
Typ formularza : Procedura konkurencyjna
Rodzaj ogłoszenia : Ogłoszenie o zamówieniu lub ogłoszenie o koncesji – tryb standardowy
Ogłoszenie – data wysłania : 14/01/2025 13:47 +00:00
Języki, w których przedmiotowe ogłoszenie jest oficjalnie dostępne : polski

11.2 Informacje o publikacji

Numer publikacji ogłoszenia : 00026279-2025
Numer wydania Dz.U. S : 10/2025
Data publikacji : 15/01/2025