Plasmaanlagen

Plasmaanlagen für das reaktive Ionenätzen (reactive ion etching, RIE) und Plasmareinigung zur Prozessierung von bis zu 6 Zoll großen Substraten Beschafft werden zwei Plasmaanlagen zur Reinigung bzw. Ätzung von bis zu 6 Zoll großen Substraten. Dabei ist eine Anlage zur Reinigung mit Ar und O2 und die zweite für das …

CPV: 42990000 Dažādas īpaša lietojuma iekārtas
Izpildes vieta:
Plasmaanlagen
Piešķīrēja iestāde:
Universität Siegen
Piešķīruma numurs:
A10-NL24EOV

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Universität Siegen
Rechtsform des Erwerbers : Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Bildung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Plasmaanlagen
Beschreibung : Plasmaanlagen für das reaktive Ionenätzen (reactive ion etching, RIE) und Plasmareinigung zur Prozessierung von bis zu 6 Zoll großen Substraten
Kennung des Verfahrens : 0d86de86-2a3b-42ba-ae1c-2031436f18ff
Interne Kennung : A10-NL24EOV-EP
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein
Begründung des beschleunigten Verfahrens :
Zentrale Elemente des Verfahrens :

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

2.1.2 Erfüllungsort

Postanschrift : Adolf-Reichwein-Str. 2a
Stadt : Siegen
Postleitzahl : 57076
Land, Gliederung (NUTS) : Siegen-Wittgenstein ( DEA5A )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Zusätzliche Informationen : Bekanntmachungs-ID: CXPNY56DQXW
Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0001

Titel : Plasmaanlagen
Beschreibung : Beschafft werden zwei Plasmaanlagen zur Reinigung bzw. Ätzung von bis zu 6 Zoll großen Substraten. Dabei ist eine Anlage zur Reinigung mit Ar und O2 und die zweite für das reaktive Ionenätzen (reactive ion etching, RIE) mit Ar, O2 und SF6 für den zukünftigen zentralen Reinraum der Naturwissenschaftlich-Technischen Fakultät der Universität Siegen vorgesehen. Die Plasmaanlagen dienen in den universitären Forschungsschwerpunkten der Sensorik sowie der Materialwissenschaften als zentraler Reinraum-Gerätebestandteil zur Strukturierung (Ätzen) und Reinigung unterschiedlichster Substrate oder Proben.
Interne Kennung : A10-NL24EOV-EP

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

5.1.2 Erfüllungsort

Postanschrift : Adolf-Reichwein-Str. 2a
Stadt : Siegen
Postleitzahl : 57076
Land, Gliederung (NUTS) : Siegen-Wittgenstein ( DEA5A )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.3 Geschätzte Dauer

Datum des Beginns : 06/02/2025
Enddatum der Laufzeit : 07/02/2025

5.1.6 Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Qualitative Kriterien
Beschreibung : Qualitative Kriterien B1.1 bis B2.3
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 50
Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : Preis
Beschreibung : Bestimmung der Bepunktung für den Preis inklusive Umsatzsteuer erfolgt nach: Der Bieter mit dem niedrigsten Gesamtpreis (vgl. Preisblatt "Summe brutto") erhält die vollen Punkte und ein Angebot ab einer Summe von 100.000,01EUR wird mit 0 Punkten bewertet. Ein mit 0 Punkten bewertetes Angebot wird ausgeschlossen. Die Punktzahl der dazwischenliegenden Angebote wird durch lineare Interpolation ermittelt
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 50
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann :
Begründung, warum die Gewichtung der Zuschlagskriterien nicht angegeben wurde :

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe

Informationen über die Überprüfungsfristen : Statthafte Rechtsbehelfe sind gem. §§ 160 ff. GWB die Rüge sowie der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens vor der zuständigen Vergabekammer. Eine Rüge ist an die Vergabestelle zu richten. Eine Rüge bzw. der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens ist unzulässig, soweit - der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden oder - mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster -
Informationen über die Überprüfungsfristen : Statthafte Rechtsbehelfe sind gem. §§ 160 ff. GWB die Rüge sowie der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens vor der zuständigen Vergabekammer. Eine Rüge ist an die Vergabestelle zu richten. Eine Rüge bzw. der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens ist unzulässig, soweit - der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden oder - mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Universität Siegen -

6. Ergebnisse

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge : 1 Euro

6.1 Ergebnis, Los-– Kennung : LOT-0001

Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.

6.1.2 Informationen über die Gewinner

Wettbewerbsgewinner :
Offizielle Bezeichnung : Diener electronic GmbH & Co KG
Angebot :
Kennung des Angebots : AQ25-0073 und AQ25-0074
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen : LOT-0001
Wert der Ausschreibung : 1 Euro
Bei dem Angebot handelt es sich um eine Variante : nein
Vergabe von Unteraufträgen : Nein
Informationen zum Auftrag :
Kennung des Auftrags : A10-NL24EOV
Datum der Auswahl des Gewinners : 06/02/2025
Datum des Vertragsabschlusses : 07/02/2025

6.1.4 Statistische Informationen

Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge :
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1
Bandbreite der Angebote :
Wert des niedrigsten zulässigen Angebots : 1 Euro
Wert des höchsten zulässigen Angebots : 1 Euro
Statistiken über die strategische Auftragsvergabe :

8. Organisationen

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : Universität Siegen
Registrierungsnummer : DE 154854171
Postanschrift : Adolf-Reichwein-Str. 2a
Stadt : Siegen
Postleitzahl : 57076
Land, Gliederung (NUTS) : Siegen-Wittgenstein ( DEA5A )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Vergabestelle
Telefon : +49 271740-4867
Fax : +49 271740-14918
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0002

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster
Registrierungsnummer : 05515-03004-07
Postanschrift : Albrecht-Thaer-Str. 9
Stadt : Münster
Postleitzahl : 48128
Land, Gliederung (NUTS) : Münster, Kreisfreie Stadt ( DEA33 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 251411-1691
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-0003

Offizielle Bezeichnung : Diener electronic GmbH & Co KG
Größe des Wirtschaftsteilnehmers : Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer : DE214132450
Postanschrift : Nagolder Str. 61
Stadt : Ebhausen
Postleitzahl : 72224
Land, Gliederung (NUTS) : Calw ( DE12A )
Land : Deutschland
Telefon : 0745899931434
Rollen dieser Organisation :
Bieter
Federführendes Mitglied
Wirtschaftlicher Eigentümer
Staatsangehörigkeit des Eigentümers : Deutschland
Gewinner dieser Lose : LOT-0001

8.1 ORG-0004

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1 Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : 1d1ecea0-df7c-4d6b-b92f-0342e514775a - 01
Formulartyp : Ergebnis
Art der Bekanntmachung : Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 10/02/2025 10:32 +01:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch

11.2 Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00092078-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 29/2025
Datum der Veröffentlichung : 11/02/2025