Sputteranlage / BEOL sputtering tool - PR808444 - 3460 - W

PR808444 - 3460 - W Sputteranlage / BEOL sputtering tool The purpose of this equipment specification is to define basic requirements for a Fully Automatic Cluster for PVD Deposition of barrier layers like Ti(N)/Ta(N)/WTi10(N) and Cu seedlayers as well as new materials used in QC on several different substrate types …

CPV: 30190000 Equipo y artículos de oficina diversos
Lugar de ejecución:
Sputteranlage / BEOL sputtering tool - PR808444 - 3460 - W
Organismo adjudicador:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Número de premio:
PR808444 - 3460 - W

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers : Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Allgemeine öffentliche Verwaltung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Sputteranlage / BEOL sputtering tool - PR808444 - 3460 - W
Beschreibung : PR808444 - 3460 - W Sputteranlage / BEOL sputtering tool
Kennung des Verfahrens : 64ce45cc-51a0-4f2e-a6c0-9dc5f3b8df05
Interne Kennung : PR808444 - 3460 - W
Verfahrensart : Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
Begründung des beschleunigten Verfahrens :
Zentrale Elemente des Verfahrens :

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 30190000 Diverse Maschinen, Einrichtungen und Zubehör

2.1.2 Erfüllungsort

Stadt : Moritzburg
Postleitzahl : 01468
Land, Gliederung (NUTS) : Meißen ( DED2E )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0000

Titel : Sputteranlage / BEOL sputtering tool - PR808444 - 3460 - W
Beschreibung : The purpose of this equipment specification is to define basic requirements for a Fully Automatic Cluster for PVD Deposition of barrier layers like Ti(N)/Ta(N)/WTi10(N) and Cu seedlayers as well as new materials used in QC on several different substrate types (Si, Glass with wafer sizes 300mm and 200mm). The tool has to be capable for deposition barrier and seedlayer in high aspect ratio vias (TSVs) Prior to the PVD process, the device wafers are delivered to the cluster in front opening unified pods (FOUPs), which are placed on the respective load ports by the operator. The cluster must be able to fully automatically run the following series of steps: • Unloading designated wafers from the FOUP • upgradable: Wafer ID readout (SEMI std. compatible) • upgradable: Flipping of wafers • Wafer alignment • Defined process steps in UHV with pre-treatment (degassing and cleaning) and deposition • Loading wafers back to origin position into FOUP For high throughput, the machine must be able to run steps in parallel. The programming of recipes must be possible within an appropriate range of options and parameters as required for research and development (R&D).
Interne Kennung : LOT-0000

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 30190000 Diverse Maschinen, Einrichtungen und Zubehör

5.1.2 Erfüllungsort

Stadt : Moritzburg
Postleitzahl : 01468
Land, Gliederung (NUTS) : Meißen ( DED2E )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.3 Geschätzte Dauer

Datum des Beginns : 23/03/2026
Enddatum der Laufzeit : 27/03/2026

5.1.6 Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : Preis
Beschreibung : Preis
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 100
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann :
Begründung, warum die Gewichtung der Zuschlagskriterien nicht angegeben wurde :

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammern des Bundes -
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 -
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. -

6. Ergebnisse

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge : 0,01 Euro
Direktvergabe :
Begründung der Direktvergabe : Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist
Sonstige Begründung : Es gelten alle nationale gesetzliche Rechte

6.1 Ergebnis, Los-– Kennung : LOT-0000

Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.

6.1.2 Informationen über die Gewinner

Wettbewerbsgewinner :
Offizielle Bezeichnung : Evatec Europe GmbH
Angebot :
Kennung des Angebots : TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen : LOT-0000
Vergabe von Unteraufträgen : Nein
Informationen zum Auftrag :
Kennung des Auftrags : CON-0001

6.1.4 Statistische Informationen

Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge :
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1

8. Organisationen

8.1 ORG-7001

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Registrierungsnummer : DE 129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Einkauf Wissenschaftliche Geräte
Telefon : +49891205-0
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1 ORG-7004

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer : t:022894990
Postanschrift : Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53113
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-7005

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer : DE-129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 89 1205-0
Internetadresse : https://www.fraunhofer.de
Rollen dieser Organisation :
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : Evatec Europe GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers : Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer : DE168202178
Postanschrift : Karl Hammerschmidt Strasse 34
Stadt : Aschheim
Postleitzahl : 85609
Land, Gliederung (NUTS) : München, Landkreis ( DE21H )
Land : Deutschland
Telefon : +49 8975505159
Fax : +49 8975505159
Rollen dieser Organisation :
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer
Gewinner dieser Lose : LOT-0000

8.1 ORG-7006

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1 Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : 31eda537-1403-4cca-ac38-31b654f1fad5 - 01
Formulartyp : Ergebnis
Art der Bekanntmachung : Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 28/03/2025 10:52 +01:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch

11.2 Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00204074-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 63/2025
Datum der Veröffentlichung : 31/03/2025