Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool - PR847550-2270-W

Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool Plasma oxidation module (200mm, CMOS) for mounting vapor deposition cluster tool 1 Stück Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool Das Plasmaoxidationsmodul soll, angebracht an einen freien Port des Aufdampfclusters, ein präzises Erzeugen von dünnen Oxidschichten (zB auf Si oder Al) ermöglichen. Die Oxidation geschieht …

CPV: 31712330 Semiconductores
Plazo:
17 de enero de 2025 a las 09:00
Tipo de plazo:
Presentación de una oferta
Lugar de ejecución:
Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool - PR847550-2270-W
Organismo adjudicador:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Número de premio:
PR847550-2270-W

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers : Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Allgemeine öffentliche Verwaltung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool - PR847550-2270-W
Beschreibung : Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool
Kennung des Verfahrens : c78fceab-7b8b-44cc-b03c-e01ddaece025
Interne Kennung : PR847550-2270-W
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein
Begründung des beschleunigten Verfahrens :
Zentrale Elemente des Verfahrens :

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712330 Halbleiter

2.1.2 Erfüllungsort

Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

2.1.6 Ausschlussgründe

Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften :
Korruption :
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung :
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs :
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen :
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung :
Betrugsbekämpfung :
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels :
Zahlungsunfähigkeit :
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen :
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter :
Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten. :
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren :
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens :
Schwere Verfehlung im Rahmen der beruflichen Tätigkeit :
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen :
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen :
Zahlung der Sozialversicherungsbeiträge :
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit :
Entrichtung von Steuern :
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten :

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0000

Titel : Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool - PR847550-2270-W
Beschreibung : 1 Stück Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool Das Plasmaoxidationsmodul soll, angebracht an einen freien Port des Aufdampfclusters, ein präzises Erzeugen von dünnen Oxidschichten (zB auf Si oder Al) ermöglichen. Die Oxidation geschieht hierbei plasmaunterstützt und erlaubt daher eine Verwendung geringer Prozesstemperaturen, was zB bei der Oxidierung von Aluminium unabdingbar ist. Unter anderem, soll durch das Erzeugen sehr dünner (<10nm) und dichter Aluminium-Oxid Schichten die Qualität und Reproduzierbarkeit von Tunnel-Strukturen in Quantenbauelementen gewährleistet werden. In Kombination mit dem Aufdampfcluster können Quantenstrukturen hergestellt werden, ohne das Vakuum zu brechen und die Proben damit natürlicher Oxidation auszusetzen. Optionen: 6.3. Als Option ist ein Ersatzteilkit gemäß üblicher Ersatzteillisten (wöchentlich, monatlich, viertel-/halbjährlich, jährlich) anzubieten für einen 24/7 Betrieb. Das Kit soll alle typischen Ersatzteile enthalten, um den reibungslosen Betrieb der Anlage über eine Laufzeit von 24 Monaten gewährleisten zu können 6.4. Als Option ist eine Garantieverlängerung um 12 weitere Monate anzubieten 6.8. Als Option sollen zusätzliche Trainingsschulungen für Operators und Prozessingenieure (für mindestens 3 Personen) angeboten werden 7.5. Eine separate Pre-installation Box für alle Medien (Vakuum, Wasser, Luftkühlung, Abgas, Ethernet, Gase, etc.) ist als Option anzubieten. Ein kompakt aufgebautes Supportmodul wird vorteilhaft bewertet
Interne Kennung : LOT-0000

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712330 Halbleiter

5.1.2 Erfüllungsort

Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.3 Geschätzte Dauer

Datum des Beginns : 17/12/2024
Enddatum der Laufzeit : 31/10/2025

5.1.6 Allgemeine Informationen

Vorbehaltene Teilnahme : Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben : Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja
Zusätzliche Informationen : FMD-QNC Investprojekt

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.9 Eignungskriterien

Kriterium :
Art : Eignung zur Berufsausübung
Kriterium :
Art : Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Kriterium :
Art : Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Kriterium :
Art : Sonstiges
Beschreibung : Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-193cfc09180-7989fc43cd0a3cd8

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : TECHNISCHE AUSFÜHRUNG
Beschreibung : TECHNISCHE AUSFÜHRUNG
Gewichtung (Prozentanteil, genau) : 50
Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : LIEFERFRIST
Beschreibung : LIEFERFRIST
Gewichtung (Prozentanteil, genau) : 15
Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : Preis
Beschreibung : Preis
Gewichtung (Prozentanteil, genau) : 35
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann :
Begründung, warum die Gewichtung der Zuschlagskriterien nicht angegeben wurde :

5.1.11 Auftragsunterlagen

Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind : Deutsch

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe

Bedingungen für die Einreichung :
Elektronische Einreichung : Zulässig
Adresse für die Einreichung : https://vergabe.fraunhofer.de
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können : Deutsch, Englisch
Elektronischer Katalog : Nicht zulässig
Varianten : Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen : Zulässig
Frist für den Eingang der Angebote : 17/01/2025 09:00 +01:00
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss : 60 Tag
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können :
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen : Siehe Vergabeunterlagen
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung :
Eröffnungsdatum : 17/01/2025 09:00 +01:00
Auftragsbedingungen :
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen : Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags : Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Elektronische Rechnungsstellung : Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt : nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet : nein
Informationen über die Überprüfungsfristen : Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion : nein

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
TED eSender : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)

8. Organisationen

8.1 ORG-7001

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Registrierungsnummer : DE 129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Einkauf Wissenschaftliche Geräte
Telefon : +49891205-0
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1 ORG-7004

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer : t:022894990
Postanschrift : Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53113
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-7005

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer : DE-129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 89 1205-0
Internetadresse : https://www.fraunhofer.de
Rollen dieser Organisation :
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1 ORG-7006

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1 Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : c22f1c46-4e49-4a68-9656-36d5e5070445 - 01
Formulartyp : Wettbewerb
Art der Bekanntmachung : Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 17/12/2024 12:56 +01:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch Englisch

11.2 Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00775709-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 246/2024
Datum der Veröffentlichung : 18/12/2024