ICP-Ätzanlage

Ausgeschrieben wird eine Anlage zum reaktiven Ionenätzen mittels induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-RIE). Die Anlage soll ein Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur darstellen und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Die Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 8 Zoll), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die …

CPV: 38970000 Investigación, ensayos y simuladores científico-técnicos
Plazo:
16 de enero de 2025 a las 12:00
Tipo de plazo:
Presentación de una oferta
Lugar de ejecución:
ICP-Ätzanlage
Organismo adjudicador:
Universität Paderborn
Número de premio:
200/93/24/1

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Universität Paderborn
Rechtsform des Erwerbers : Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Bildung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : ICP-Ätzanlage
Beschreibung : Ausgeschrieben wird eine Anlage zum reaktiven Ionenätzen mittels induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-RIE). Die Anlage soll ein Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur darstellen und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Die Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 8 Zoll), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die verwendeten optische Bauelemente basieren auf Wellenleiterstrukturen, die extrem hohe Anforderungen an die Strukturhomogenität und Seitenrauheit stellen. Es sollen Rippenwellenleiter über eine Länge von mehreren Millimetern mit einer hohen Homogenität geätzt werden.
Kennung des Verfahrens : 8ca84e78-55d8-4c4b-b351-a1eb7bdd229c
Interne Kennung : 200/93/24/1
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein
Begründung des beschleunigten Verfahrens :
Zentrale Elemente des Verfahrens :

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38970000 Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft

2.1.2 Erfüllungsort

Stadt : 33098
Land, Gliederung (NUTS) : Paderborn ( DEA47 )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Zusätzliche Informationen : Bekanntmachungs-ID: CXS0YYPYTYUS3DEK Die Vergabestelle der Universität Paderborn lässt generell nur die Abgabe elektronischer Angebote zu. Für die Übermittlung Ihres Angebotes nutzen Sie bitte ausschließlich das Vergabeportal und das dort bereitgestellte Tool als Kommunikationsmittel. Angebote, die uns per Fax oder E-Mail erreichen, werden sofort ausgeschlossen! Dies gilt ebenso für Angebote, die postalisch an uns gesendet werden.
Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

2.1.6 Ausschlussgründe

Rein innerstaatliche Ausschlussgründe : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Korruption : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Betrugsbekämpfung : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Zahlungsunfähigkeit : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten. : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Schwere Verfehlung im Rahmen der beruflichen Tätigkeit : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Zahlung der Sozialversicherungsbeiträge : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Entrichtung von Steuern : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten : vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0001

Titel : ICP-Ätzanlage
Beschreibung : Geliefert, installiert und in Betrieb genommen werden soll eine Anlage zum reaktiven Ionenätzen mittels induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-RIE). Die detaillierte Leistungsbeschreibung entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen (Kriterienkatalog)
Interne Kennung : 200/93/24/1

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38970000 Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft

5.1.2 Erfüllungsort

Stadt : 33098
Land, Gliederung (NUTS) : Paderborn ( DEA47 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.3 Geschätzte Dauer

Laufzeit : 10 Monat

5.1.4 Verlängerung

Maximale Verlängerungen : 0

5.1.6 Allgemeine Informationen

Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben : Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Innovative Beschaffung
Innovatives Ziel : Die in Auftrag gegebenen Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen umfassen Forschungs- und Entwicklungstätigkeiten.

5.1.9 Eignungskriterien

Kriterium :
Art : Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Bezeichnung : Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Beschreibung : 1. Eigenerklärung über das Bestehen einer branchenüblichen Betriebshaftpflichtversicherung unter Nennung des Versicherungsgebers sowie der Deckungssummen für Personenschäden, Sachschäden und Vermögensschäden. Wichtiger Hinweis: Die Hinweise aus Ziffer III.1.1) hinsichtlich des Nachforderns von Nachweisen und Erklärungen gelten entsprechend.
Kriterium :
Art : Eignung zur Berufsausübung
Bezeichnung : Eignung zur Berufsausübung
Beschreibung : Hinweise: Soweit lediglich Eigenerklärungen gefordert werden, behält sich der Auftraggeber das Recht vor, zur Behebung von Zweifeln entsprechende Bescheinigungen oder Nachweise von den Bietern nachzufordern. Kopien von Nachweisen werden anerkannt, sofern sie keinen Anlass zu Zweifeln an der Übereinstimmung mit dem Original geben. Bitte reichen Sie unbedingt die Nachweise und Erklärungen in der hier angegebenen Reihenfolge ein! Sollten die geforderten Erklärungen oder Nachweise unvollständig oder unzureichend sein, kann der Bieter von dem weiteren Verfahren ausgeschlossen werden! Ein Bieter kann nicht darauf vertrauen, dass der Auftraggeber Gelegenheit zur Ergänzung oder Vervollständigung gibt, das Recht hierzu behält er sich jedoch vor. Sofern sich der Bieter auf die Eignung anderer Unternehmen (im Rahmen einer Bietergemeinschaft oder bzgl. Nachunternehmer) beruft, sind die jeweiligen Erklärungen und Nachweise (insb. Eigenerklärungen und Referenzen) durch dieses oder diese Unternehmen zu führen. Der Bieter/ die Bietergemeinschaft hat außerdem bei Aufforderung durch den Auftraggeber noch vor Zuschlagserteilung eine Verpflichtungserklärung des oder der jeweiligen Nachunternehmer(s) beizubringen. Weiter behält der Auftraggeber sich vor, auch von den Unternehmen, die zwar Nachunternehmer einsetzen, sich jedoch nicht zum Nachweis der Leistungsfähigkeit und Fachkunde auf die Nachunternehmer beziehen, vor Zuschlagserteilung die entsprechenden Nachweise zur Zuverlässigkeit, Fachkunde und Leistungsfähigkeit der Nachunternehmer und ggf. eine Verpflichtungserklärung einzuholen. Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind, um die Einhaltung der Auflagen zu überprüfen: Eigenerklärungen, dass 1. die in § 123 Abs. 1 bis 4 GWB aufgeführten zwingenden Ausschlussgründe und 2. die in § 124 Abs. 1 GWB aufgeführten zwingenden Ausschlussgründe nicht vorliegen und - soweit das der Fall ist - ggf. Maßnahmen zur Selbstreinigung nach § 125 Abs. 1 S. 1 GWB getroffen wurden, mit Darstellung derselben unter Berücksichtigung der Anforderungen aus § 125 Abs. 1 S. 1 GWB. 3. das Unternehmen in einem Berufs- oder Handelsregister eingetragen ist. Für die Mitgliedstaaten der Europäischen Union sind die jeweiligen vergleichbaren Berufs- oder Handelsregistereinträge nachzuweisen. 4. das Unternehmen Mitglied in einer Berufsgenossenschaft ist. (Unternehmen, die Ihren Sitz nicht in der Bundesrepublik Deutschland haben, geben den für sie zuständigen Versicherer an.)

5.1.11 Auftragsunterlagen

Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind : Deutsch
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen : 08/01/2025 23:59 +01:00

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe

Bedingungen für die Einreichung :
Elektronische Einreichung : Erforderlich
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können : Deutsch
Elektronischer Katalog : Nicht zulässig
Varianten : Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen : Zulässig
Beschreibung der finanziellen Sicherheit : Etwaige Vorauszahlungen erfolgen ausschließlich gegen die Vorlage einer selbstschuldnerischen Bankbürgschaft seitens des Bieters.
Frist für den Eingang der Angebote : 16/01/2025 12:00 +01:00
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss : 60 Tag
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können :
Nach Ermessen des Käufers können einige fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen : Es werden lediglich Unterlagen zur Eignungsfeststellung nachgefordert.
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung :
Eröffnungsdatum : 16/01/2025 12:00 +01:00
Auftragsbedingungen :
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen : Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags : Öffentliche Auftraggeber sind gem. § 6 Abs. 1. Wettbewerbsregistergesetz (WRegG) verpflichtet, vor Erteilung des Zuschlags für einen öffentlichen Auftrag beim Wettbewerbsregister elektronisch abzufragen, ob das Unternehmen, das den Auftrag erhalten soll, eingetragen ist.
Elektronische Rechnungsstellung : Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt : ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet : ja
Informationen über die Überprüfungsfristen : 1. Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt. 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen bis spätestens zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden. 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar waren, müssten bis zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder der Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden. 4. Ein Nachprüfungsantrag muss innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wolle, eingehen.

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion : nein

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammer bei der Bezirksregierung Münster
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Universität Paderborn
TED eSender : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)

8. Organisationen

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : Universität Paderborn
Registrierungsnummer : DEA47
Postanschrift : Warburger Str. 100
Stadt : Paderborn
Postleitzahl : 33098
Land, Gliederung (NUTS) : Paderborn ( DEA47 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Dezernat 1.4 - Beschaffung
Telefon : +49 5251-600
Fax : +49 5251-602536
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0002

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammer bei der Bezirksregierung Münster
Registrierungsnummer : DEA33
Postanschrift : Albrecht-Thaer-Straße 9
Stadt : Münster
Postleitzahl : 48143
Land, Gliederung (NUTS) : Münster, Kreisfreie Stadt ( DEA33 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 2514110
Fax : +49 2514112165
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-0003

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1 Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : 8af44576-23e0-4602-8c53-772f7ef36db0 - 01
Formulartyp : Wettbewerb
Art der Bekanntmachung : Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 16/12/2024 10:39 +01:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch

11.2 Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00772892-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 245/2024
Datum der Veröffentlichung : 17/12/2024