Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés

Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des applications FEOL et MEOL sans contamination métallique croisée. L’équipement doit être capable d'effectuer un traitement parallèle de lots de plaquettes présentant différents niveaux de contamination. Les matériaux concernés par ce …

CPV: 31712100 Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Lugar de ejecución:
Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés
Organismo adjudicador:
CEA Grenoble
Número de premio:
PN-B24-02040-CG

1. Acheteur

1.1 Acheteur

Nom officiel : CEA Grenoble
Forme juridique de l’acheteur : Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur : Enseignement

2. Procédure

2.1 Procédure

Titre : Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés
Description : Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des applications FEOL et MEOL sans contamination métallique croisée. L’équipement doit être capable d'effectuer un traitement parallèle de lots de plaquettes présentant différents niveaux de contamination. Les matériaux concernés par ce type de polissage sont le silicium, l’oxyde de silicium, le nitrure, le tungstène et d’autres matériaux métalliques. Cet équipement sera installé dans la salle blanche du CEA. Il est destiné à traiter des plaques 200mm. Il doit pouvoir intégrer un module de métrologie. Le présent marché comporte les options suivantes : - Option 1 : Formation maintenance niveau 1, page 36 du cahier des charges, - Option 2 : Formation maintenance avancée, page 36 du cahier des charges.
Identifiant de la procédure : b0ab48f6-9bdf-4bf6-b4fc-4dad2388a60b
Avis précédent : 230472-2024
Identifiant interne : PN-B24-02040-CG
Type de procédure : Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accélérée : non
Justification de la procédure accélérée :
Principales caractéristiques de la procédure :

2.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 31712100 Machines et appareils microélectroniques

2.1.2 Lieu d’exécution

Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France

2.1.3 Valeur

Valeur estimée hors TVA : 1 Euro

2.1.4 Informations générales

Base juridique :
Directive 2014/24/UE

5. Lot

5.1 Identifiant technique du lot : LOT-0001

Titre : Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés
Description : Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des applications FEOL et MEOL sans contamination métallique croisée. L’équipement doit être capable d'effectuer un traitement parallèle de lots de plaquettes présentant différents niveaux de contamination. Les matériaux concernés par ce type de polissage sont le silicium, l’oxyde de silicium, le nitrure, le tungstène et d’autres matériaux métalliques. Cet équipement sera installé dans la salle blanche du CEA. Il est destiné à traiter des plaques 200mm. Il doit pouvoir intégrer un module de métrologie. Le présent marché comporte les options suivantes : - Option 1 : Formation maintenance niveau 1, page 36 du cahier des charges, - Option 2 : Formation maintenance avancée, page 36 du cahier des charges.
Identifiant interne : PN-B24-02040-CG

5.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
Options :
Description des options : Le présent marché comporte les options suivantes : - Option 1 : Formation maintenance niveau 1, page 36 du cahier des charges, - Option 2 : Formation maintenance avancée, page 36 du cahier des charges.

5.1.2 Lieu d’exécution

Adresse postale : 17 rue des Martyrs
Ville : Grenoble
Code postal : 38054
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Informations complémentaires :

5.1.3 Durée estimée

Date de début : 25/11/2024
Date de fin de durée : 22/09/2025

5.1.5 Valeur

Valeur estimée hors TVA : 1 Euro

5.1.6 Informations générales

Projet de passation de marché non financé par des fonds de l’UE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP) : oui
Informations relatives aux avis antérieurs :
Identifiant de l’avis antérieur : 230472-2024

5.1.10 Critères d’attribution

Critère :
Type : Prix
Nom :
Description : Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
Pondération (points, valeur exacte) : 5
Description de la méthode à utiliser si la pondération ne peut être exprimée par des critères :
Justification de l’absence d’indication de la pondération des critères d’attribution : Les critères d'attributions sont les suivants : - Prix de l'Equipement : 50 % - Performance des process : 35 % - Qualité matérielle et configuration hardware : 10 % - Capacité à fournir 2 module de nettoyage indépendants pouvant fonctionner en parallèle (Process 3) : 5 % - Capacité à fournir l'intégralité des systèmes d'endpoint : 5 %

5.1.12 Conditions du marché public

Informations relatives aux délais de recours : Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.

5.1.15 Techniques

Accord-cadre :
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique :
Pas de système d’acquisition dynamique

5.1.16 Informations complémentaires, médiation et réexamen

Organisation chargée des procédures de médiation : GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Organisation chargée des procédures de recours : GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché : CEA Grenoble
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours : GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Organisation qui signe le marché : CEA Grenoble
TED eSender : Publications Office of the European Union

6. Résultats

Valeur de tous les contrats attribués dans cet avis : 1 Euro

6.1 Résultat – Identifiants des lots : LOT-0001

Au moins un lauréat a été choisi.

6.1.2 Informations sur les lauréats

Lauréat :
Nom officiel : EBARA Corporation
Offre :
Identifiant de l’offre : B24-02040-CG_
Identifiant du lot ou groupe de lots : LOT-0001
Valeur de l'offre : 1 Euro
L’offre a été classée : non
L’offre est une variante : non
Sous-traitance : Pas encore connu
Informations relatives au marché :
Identifiant du marché : B24-02040-CG
Date de conclusion du marché : 25/11/2024
Le marché est attribué dans le contexte d’un accord-cadre : non
Organisation qui signe le marché : CEA Grenoble

6.1.4 Informations statistiques

Offres ou demandes de participation reçues :
Type de soumissions reçues : Offres
Nombre d’offres ou de demandes de participation reçues : 1
Éventail d’offres :
Valeur de l’offre recevable la plus basse : 1 Euro
Valeur de l’offre recevable la plus élevée : 1 Euro

8. Organisations

8.1 ORG-0001

Nom officiel : CEA Grenoble
Numéro d’enregistrement : 775 685 019 00298
Département : Isère
Adresse postale : 17 rue des Martyrs
Ville : Grenoble
Code postal : 38054
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Point de contact : Mme Clara GOGORIAN
Adresse électronique : clara.gogorian@cea.fr
Téléphone : 0660395146
Profil de l’acheteur : https://www.marches-publics.gouv.fr
Rôles de cette organisation :
Acheteur
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché
Organisation qui signe le marché

8.1 ORG-0002

Nom officiel : GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Numéro d’enregistrement : 173800053
Adresse postale : 2 Place de Verdun, Boîte Postale 1135
Ville : Grenoble Cedex
Code postal : 38022
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Adresse électronique : greffe.tagrenoble@juradm.fr
Téléphone : 04 76 42 90 00
Rôles de cette organisation :
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours
Organisation chargée des procédures de médiation

8.1 ORG-0003

Nom officiel : EBARA Corporation
Numéro d’enregistrement : 0108-01-001748
Adresse postale : 11-1 Haneda , Asahi-cho, Ota-ku
Ville : Tokyo
Code postal : 144-8510
Pays : Japon
Rôles de cette organisation :
Soumissionnaire
Bénéficiaire effectif
Nom officiel : EBARA EBARA CORPORATION
Ville : Tokyo
Pays : Japon
Lauréat de ces lots : LOT-0001

8.1 ORG-0000

Nom officiel : Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement : PUBL
Ville : Luxembourg
Code postal : 2417
Subdivision pays (NUTS) : Luxembourg ( LU000 )
Pays : Luxembourg
Adresse électronique : ted@publications.europa.eu
Téléphone : +352 29291
Adresse internet : https://op.europa.eu
Rôles de cette organisation :
TED eSender

11. Informations relatives à l’avis

11.1 Informations relatives à l’avis

Identifiant/version de l’avis : 859bb3b7-587e-4997-94e5-161e5c5473a9 - 01
Type de formulaire : Résultats
Type d’avis : Avis d’attribution de marché ou de concession – régime ordinaire
Date d’envoi de l’avis : 25/11/2024 08:07 +00:00
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible : français

11.2 Informations relatives à la publication

Numéro de publication de l’avis : 00721135-2024
Numéro de publication au JO S : 230/2024
Date de publication : 26/11/2024