Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés

Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des applications sans contamination métallique pour être utilisé en début de chaine de fabrication des puces. Les matériaux concernés par ce type de polissage sont l’oxyde de silicium, le nitrure et …

CPV: 31712100 Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Plazo:
23 de septiembre de 2024 a las 16:00
Tipo de plazo:
Presentación de una oferta
Lugar de ejecución:
Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés
Organismo adjudicador:
CEA Grenoble
Número de premio:
B24-01773-AT

1. Acheteur

1.1 Acheteur

Nom officiel : CEA Grenoble
Forme juridique de l’acheteur : Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur : Enseignement

2. Procédure

2.1 Procédure

Titre : Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés
Description : Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des applications sans contamination métallique pour être utilisé en début de chaine de fabrication des puces. Les matériaux concernés par ce type de polissage sont l’oxyde de silicium, le nitrure et une nouvelle génération de matériaux. Cet équipement sera installé dans la salle blanche du CEA. Il est destiné à traiter des plaques 300mm pour le développement des technologies avancées FDSOI 7 nm et au-delà. Les options suivantes* sont susceptibles d’être affermies dès la notification du marché : • Options* avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : Capacité de purge azote des Foups (page 16 du cahier des charges) o Option n°2 : Formation maintenance niveau 1 pour deux personnes o Option n°3 : Formation maintenance avancée pour deux personnes • Options* avec chiffrage facultatif : o Option n°4 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement o Option n°5 : Transformateur électrique o Option n°6 : Deuxième année de garantie o Option n°7 : Le transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Identifiant de la procédure : 1a17cd92-f9ea-42c9-85a3-84ed4f646766
Identifiant interne : B24-01773-AT
Type de procédure : Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accélérée : non
Justification de la procédure accélérée :
Principales caractéristiques de la procédure :

2.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 31712100 Machines et appareils microélectroniques

2.1.4 Informations générales

Informations complémentaires : « Présentation des candidatures : Le candidat fournira à l’appui de sa candidature : le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulairesdeclarationducandidat la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ». Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R.21433 du code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr. 7/39 Il est interdit de cumuler les candidatures : en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements y compris en tant que mandataire ; en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables ».
Base juridique :
Directive 2014/24/UE

2.1.6 Motifs d’exclusion

Motifs d’exclusion purement nationaux : Les cas d’exclusion de la procédure sont prévus aux articles L. 21411 à L. 21415 et aux articles L. 21417 à L. 214110 du code de la commande publique.

5. Lot

5.1 Identifiant technique du lot : LOT-0001

Titre : Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés
Description : Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des applications sans contamination métallique pour être utilisé en début de chaine de fabrication des puces. Les matériaux concernés par ce type de polissage sont l’oxyde de silicium, le nitrure et une nouvelle génération de matériaux. Cet équipement sera installé dans la salle blanche du CEA. Il est destiné à traiter des plaques 300mm pour le développement des technologies avancées FDSOI 7 nm et au-delà. Les options suivantes* sont susceptibles d’être affermies dès la notification du marché : • Options* avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : Capacité de purge azote des Foups (page 16 du cahier des charges) o Option n°2 : Formation maintenance niveau 1 pour deux personnes o Option n°3 : Formation maintenance avancée pour deux personnes • Options* avec chiffrage facultatif : o Option n°4 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement o Option n°5 : Transformateur électrique o Option n°6 : Deuxième année de garantie o Option n°7 : Le transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Identifiant interne : B24-01773-AT

5.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 31712100 Machines et appareils microélectroniques

5.1.3 Durée estimée

Durée : 12 Mois

5.1.6 Informations générales

Participation réservée : La participation n’est pas réservée.
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Information sur les fonds de l'Union européenne
Identifiant des fonds de l’UE : FAMES - PILOT LINE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP) : oui
Informations complémentaires : La durée de 12 mois est une durée donnée à titre indicatif.

5.1.9 Critères de sélection

Critère :
Type : Capacité économique et financière
Description : - Déclaration concernant le chiffre d'affaires global du candidat et, le cas échéant, le chiffre d'affaires du domaine d'activité faisant l'objet du marché public, portant au maximum sur les trois derniers exercices disponibles en fonction de la date de création de l'entreprise ou du début d'activité de l'opérateur économique, dans la mesure où les informations sur ces chiffres d'affaires sont disponibles ; - Déclarations appropriées de banques ou, le cas échéant, preuve d'une assurance des risques professionnels pertinents ; Si, pour une raison justifiée, l'opérateur économique n'est pas en mesure de produire les renseignements et documents demandés, il est autorisé à prouver sa capacité économique et financière par tout autre moyen.
Les critères seront appliqués pour sélectionner les candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure
Critère :
Type : Capacité technique et professionnelle
Description : - Une liste des principales livraisons effectuées ou des principaux services fournis au cours des trois dernières années, indiquant le montant, la date et le destinataire public ou privé. Les livraisons et les prestations de services sont prouvées par des attestations du destinataire ou, à défaut, par une déclaration de l'opérateur économique ; - Des descriptions ou photographies des fournitures ;
Les critères seront appliqués pour sélectionner les candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure
Critère :
Type : Aptitude à exercer l’activité professionnelle
Description : - le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou une lettre de candidature signée par une personne habilitée à engager le candidat ou habilitant le mandataire d’un groupement à représenter le groupement accompagnée d'une attestation sur l'honneur contenant l'ensemble des informations demandées à la page 3 de ce formulaire. - le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-marches-publics ou un document unique de marché européen (DUME) disponible sur https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr - lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe. Les documents suivants seront à produire par les candidats sélectionnés avant l’envoi de l’invitation à soumissionner par le CEA et dans le délai fixé par ce dernier : - attestations et certificats délivrés par les administrations et organismes compétents prouvant que le candidat a satisfait à ses obligations fiscales et sociales ou documents équivalents en cas de candidat étrangers, datant de moins de six mois.
Les critères seront appliqués pour sélectionner les candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure
Informations sur la seconde étape d’une procédure en deux étapes :
Nombre minimal de candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure : 3
La procédure se déroulera en plusieurs étapes. À chaque étape, certains participants peuvent être éliminés
L’acheteur se réserve le droit d’attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations

5.1.10 Critères d’attribution

Critère :
Type : Prix
Nom :
Description : Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
Description de la méthode à utiliser si la pondération ne peut être exprimée par des critères :
Justification de l’absence d’indication de la pondération des critères d’attribution :

5.1.11 Documents de marché

Adresse des documents de marché : https://www.marchespublics.gouv.fr

5.1.12 Conditions du marché public

Conditions de présentation :
Présentation par voie électronique : Autorisée
Adresse de présentation : https://www.marchespublics.gouv.fr
Langues dans lesquelles les offres ou demandes de participation peuvent être présentées : français, anglais
Catalogue électronique : Non autorisée
Variantes : Autorisée
Date limite de réception des offres : 23/09/2024 16:00 +02:00
Conditions du marché :
Le marché doit être exécuté dans le cadre de programmes d’emplois protégés : Non
Facturation en ligne : Autorisée
La commande en ligne sera utilisée : oui
Le paiement en ligne sera utilisé : oui
Informations relatives aux délais de recours : Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.

5.1.15 Techniques

Accord-cadre :
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique :
Pas de système d’acquisition dynamique
Enchère électronique : non

5.1.16 Informations complémentaires, médiation et réexamen

Organisation chargée des procédures de recours : Greffe Tribunal administratif de Grenoble
Organisation qui reçoit les demandes de participation : CEA Grenoble
Organisation qui traite les offres : CEA Grenoble

8. Organisations

8.1 ORG-0001

Nom officiel : CEA Grenoble
Numéro d’enregistrement : 775 685 019 00298
Adresse postale : 17 rue des Martyrs
Ville : Grenoble
Code postal : 38054
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Point de contact : M. Anguéran Thirion
Adresse électronique : angueran.thirion@cea.fr
Téléphone : 0659450565
Profil de l’acheteur : https://www.marches-publics.gouv.fr
Rôles de cette organisation :
Acheteur
Organisation qui reçoit les demandes de participation
Organisation qui traite les offres

8.1 ORG-0002

Nom officiel : Greffe Tribunal administratif de Grenoble
Numéro d’enregistrement : 173800053
Adresse postale : 2 Place de Verdun Boîte Postale 1135
Ville : Grenoble Cedex
Code postal : 38022
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Adresse électronique : greffe.ta-grenoble@juradm.fr
Téléphone : +33 476429000
Rôles de cette organisation :
Organisation chargée des procédures de recours

11. Informations relatives à l’avis

11.1 Informations relatives à l’avis

Identifiant/version de l’avis : efa05b7f-01cf-426a-bfec-b7ff536c148c - 01
Type de formulaire : Mise en concurrence
Type d’avis : Avis de marché ou de concession – régime ordinaire
Date d’envoi de l’avis : 07/08/2024 10:08 +00:00
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible : français

11.2 Informations relatives à la publication

Numéro de publication de l’avis : 00479572-2024
Numéro de publication au JO S : 154/2024
Date de publication : 08/08/2024