Fourniture d’un diffractomètre rayon X haute résolution

Dans le cadre de ses activités de R&D pour le FDSOI à 10 nm et en deçà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de diffraction entièrement automatisé, compatible salle blanche, avec une source haute brillance de type anode tournante pour des mesures plein champ rapides, et une source microfaisceau pour …

CPV: 31712100 Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Lugar de ejecución:
Fourniture d’un diffractomètre rayon X haute résolution
Organismo adjudicador:
CEA/GRENOBLE
Número de premio:
PN-B24-02913-ST

1. Acheteur

1.1 Acheteur

Nom officiel : CEA/GRENOBLE
Forme juridique de l’acheteur : Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur : Enseignement

2. Procédure

2.1 Procédure

Titre : Fourniture d’un diffractomètre rayon X haute résolution
Description : Dans le cadre de ses activités de R&D pour le FDSOI à 10 nm et en deçà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de diffraction entièrement automatisé, compatible salle blanche, avec une source haute brillance de type anode tournante pour des mesures plein champ rapides, et une source microfaisceau pour les mesures sur plaque produit. Les applications visées sont diverses : composants CMOS avancés, composants de puissances ou LED à base de matériaux III-V, dispositifs 3D, photovoltaïque, mémoires, composants RF, etc. L’équipement sera capable d’effectuer, de manière automatisé, des mesures rapides, fiables et précises de diffraction standard (XRD, couches polycristallines), des mesures de diffraction haute résolution (HRXRD et micro-HRXRD, couches monocristallines), et des mesures de réflectométrie X (XRR) sur couches minces. Les mesures seront effectuées en salle blanche (ISO 4) sur des plaquettes pour la microélectronique de diamètre 200 mm et 300 mm, comprenant des couches unitaires ou multicouches constituées d’une vaste diversité de matériaux, aussi bien en pleine plaque ou à motif après lithographie (mesure avec microfaisceau, avec reconnaissance de motif). L’équipement devra donc être capable de traiter des substrats différents – silicium, SOI, verre, saphir, SiC – sur des gammes d’épaisseur variées. Le présent marché comporte les options obligatoires suivantes : OPT1 : Formation à la Maintenance de 1er niveau; OPT2 : Formation à la Maintenance avancée; Et les options facultatives suivantes : OPT3 : Scan Diffusion transversale (ω), porosité (2θ) pour Module XRR; OPT4 : Scan Stress résiduel (2θ – χ loop) pour Module GIXRD ; OPT5 : Scan Inplane 2θ–φ pour Module IPXRD ; OPT6 : Scan cartographie 2D pour Module XRD ; OPT7 : Système de pompage ; OPT8 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement ; OPT9 : Deuxième année de garantie.
Identifiant de la procédure : 7a39b53b-7b98-485c-ba31-a11032344f65
Identifiant interne : PN-B24-02913-ST
Type de procédure : Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
Justification de la procédure accélérée :
Principales caractéristiques de la procédure :

2.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 31712100 Machines et appareils microélectroniques

2.1.4 Informations générales

Informations complémentaires : Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr . Modalités d’obtention du Dossier de Consultation : Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr Le téléchargement du dossier de consultation devra préciser la référence suivante : PN-B24-02913-ST Modalités de transmission des candidatures : Les candidatures seront transmises via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr. Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) : 1.Se doter d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique» 2.Se connecter à l’adresse suivante https://www.marches-publics.gouv.fr 3.Compléter le formulaire et valider. Forme juridique que devra revêtir le groupement d’opérateurs économiques attributaire du marché (le cas échéant) En cas de groupement momentané d’entreprises, celui-ci peut être solidaire ou conjoint. Si le groupement est conjoint, le mandataire doit être solidaire de ses cotraitants. Il est interdit de cumuler les candidatures : - en qualité de candidat individuel et de membre d’un ou plusieurs groupements : - en qualité de membre de plusieurs groupements
Base juridique :
Directive 2014/24/UE

2.1.6 Motifs d’exclusion

Motifs d’exclusion purement nationaux : Les cas d’exclusion de la procédure sont prévus aux articles L. 21411 à L. 21415 et aux articles L. 21417 à L. 214110 du code de la commande publique.

5. Lot

5.1 Identifiant technique du lot : LOT-0001

Titre : Fourniture d'un diffractomètre rayon X haute résolution
Description : Dans le cadre de ses activités de R&D pour le FDSOI à 10 nm et en deçà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de diffraction entièrement automatisé, compatible salle blanche, avec une source haute brillance de type anode tournante pour des mesures plein champ rapides, et une source microfaisceau pour les mesures sur plaque produit. Les applications visées sont diverses : composants CMOS avancés, composants de puissances ou LED à base de matériaux III-V, dispositifs 3D, photovoltaïque, mémoires, composants RF, etc. L’équipement sera capable d’effectuer, de manière automatisé, des mesures rapides, fiables et précises de diffraction standard (XRD, couches polycristallines), des mesures de diffraction haute résolution (HRXRD et micro-HRXRD, couches monocristallines), et des mesures de réflectométrie X (XRR) sur couches minces. Les mesures seront effectuées en salle blanche (ISO 4) sur des plaquettes pour la microélectronique de diamètre 200 mm et 300 mm, comprenant des couches unitaires ou multicouches constituées d’une vaste diversité de matériaux, aussi bien en pleine plaque ou à motif après lithographie (mesure avec microfaisceau, avec reconnaissance de motif). L’équipement devra donc être capable de traiter des substrats différents – silicium, SOI, verre, saphir, SiC – sur des gammes d’épaisseur variées. Le présent marché comporte les options obligatoires suivantes : OPT1 : Formation à la Maintenance de 1er niveau; OPT2 : Formation à la Maintenance avancée; Et les options facultatives suivantes : OPT3 : Scan Diffusion transversale (ω), porosité (2θ) pour Module XRR; OPT4 : Scan Stress résiduel (2θ – χ loop) pour Module GIXRD ; OPT5 : Scan Inplane 2θ–φ pour Module IPXRD ; OPT6 : Scan cartographie 2D pour Module XRD ; OPT7 : Système de pompage ; OPT8 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement ; OPT9 : Deuxième année de garantie.
Identifiant interne : PN-B24-02913-ST

5.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 31712100 Machines et appareils microélectroniques

5.1.2 Lieu d’exécution

Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Informations complémentaires : CEA/Grenoble. Conditions d'accès réglementées.

5.1.3 Durée estimée

Durée : 12 Mois

5.1.6 Informations générales

Participation réservée : La participation n’est pas réservée.
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Information sur les fonds de l'Union européenne
Identifiant des fonds de l’UE : FAMES-PILOT LINE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP) : oui
Informations complémentaires : Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr

5.1.9 Critères de sélection

Critère :
Type : Capacité économique et financière
Description : - Déclaration concernant le chiffre d'affaires global du candidat et, le cas échéant, le chiffre d'affaires du domaine d'activité faisant l'objet du marché public, portant au maximum sur les trois derniers exercices disponibles en fonction de la date de création de l'entreprise ou du début d'activité de l'opérateur économique, dans la mesure où les informations sur ces chiffres d'affaires sont disponibles ; - Déclarations appropriées de banques ou, le cas échéant, preuve d'une assurance des risques professionnels pertinents ; Si, pour une raison justifiée, l'opérateur économique n'est pas en mesure de produire les renseignements et documents demandés, il est autorisé à prouver sa capacité économique et financière par tout autre moyen.
Les critères seront appliqués pour sélectionner les candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure
Critère :
Type : Aptitude à exercer l’activité professionnelle
Description : - le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou une lettre de candidature signée par une personne habilitée à engager le candidat ou habilitant le mandataire d’un groupement à représenter le groupement accompagnée d'une attestation sur l'honneur contenant l'ensemble des informations demandées à la page 3 de ce formulaire. - le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-marches-publics ou un document unique de marché européen (DUME) disponible sur https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr - lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe. Les documents suivants seront à produire par les candidats sélectionnés avant l’envoi de l’invitation à soumissionner par le CEA et dans le délai fixé par ce dernier : - attestations et certificats délivrés par les administrations et organismes compétents prouvant que le candidat a satisfait à ses obligations fiscales et sociales ou documents équivalents en cas de candidat étrangers, datant de moins de six mois.
Les critères seront appliqués pour sélectionner les candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure
Critère :
Type : Capacité technique et professionnelle
Description : - Une liste des principales livraisons effectuées ou des principaux services fournis au cours des trois dernières années, indiquant le montant, la date et le destinataire public ou privé. Les livraisons et les prestations de services sont prouvées par des attestations du destinataire ou, à défaut, par une déclaration de l'opérateur économique ; - L'indication des mesures de gestion environnementale que le candidat pourra appliquer lors de l'exécution du marché public ; - Des descriptions ou photographies des fournitures ; - Des certificats établis par des instituts ou services officiels chargés du contrôle de la qualité et habilités à attester la conformité des fournitures par des références à certaines spécifications techniques. Toutefois, d'autres preuves de mesures équivalentes de garantie de la qualité produites par les candidats sont acceptées, si ceux-ci n'ont pas accès à ces certificats ou n'ont aucune possibilité de les obtenir dans les délais fixés ; L'acheteur accepte les certificats équivalents d'organismes établis dans d'autres Etats membres. Lorsqu'un opérateur économique n'a pas la possibilité d'obtenir ces certificats dans les délais fixés pour des motifs qui ne lui sont pas imputables, l'acheteur accepte d'autres mesures équivalentes pour autant que l'opérateur économique concerné établisse que les mesures proposées sont équivalentes à celles requises.
Les critères seront appliqués pour sélectionner les candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure
Informations sur la seconde étape d’une procédure en deux étapes :
Nombre minimal de candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure : 3
La procédure se déroulera en plusieurs étapes. À chaque étape, certains participants peuvent être éliminés
L’acheteur se réserve le droit d’attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations

5.1.10 Critères d’attribution

Critère :
Type : Prix
Nom :
Description : Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés (Translation for information : Price is not the only award criterion and all criteria are stated only in the procurement documents).
Description de la méthode à utiliser si la pondération ne peut être exprimée par des critères :
Justification de l’absence d’indication de la pondération des critères d’attribution :

5.1.11 Documents de marché

Adresse des documents de marché : https://www.marches-publics.gouv.fr/entreprise

5.1.12 Conditions du marché public

Conditions de présentation :
Présentation par voie électronique : Requise
Adresse de présentation : https://www.marches-publics.gouv.fr
Langues dans lesquelles les offres ou demandes de participation peuvent être présentées : français, anglais
Catalogue électronique : Non autorisée
Variantes : Autorisée
Date limite de réception des demandes de participation : 23/09/2024 12:00 +02:00
Conditions du marché :
Le marché doit être exécuté dans le cadre de programmes d’emplois protégés : Non
Facturation en ligne : Autorisée
La commande en ligne sera utilisée : non
Le paiement en ligne sera utilisé : non
Informations relatives aux délais de recours : Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.

5.1.15 Techniques

Accord-cadre :
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique :
Pas de système d’acquisition dynamique
Enchère électronique : non

5.1.16 Informations complémentaires, médiation et réexamen

Organisation chargée des procédures de recours : GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché : CEA/GRENOBLE
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché : CEA/GRENOBLE
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours : GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Organisation qui reçoit les demandes de participation : CEA/GRENOBLE
Organisation qui traite les offres : CEA/GRENOBLE

8. Organisations

8.1 ORG-0001

Nom officiel : CEA/GRENOBLE
Numéro d’enregistrement : 775 685 019 00298
Adresse postale : 17 avenue des Martyrs
Ville : Grenoble
Code postal : 38054
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Point de contact : Syrga TURGANALIEVA
Adresse électronique : syrga.turganalieva@cea.fr
Téléphone : 0438783071
Rôles de cette organisation :
Acheteur
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché
Organisation qui reçoit les demandes de participation
Organisation qui traite les offres

8.1 ORG-0002

Nom officiel : GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Numéro d’enregistrement : 17800053
Adresse postale : 2 Place de Verdun, Boite Postale 1135
Ville : GRENOBLE CEDEX
Code postal : 38022
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Adresse électronique : greffe.ta-grenoble@juradm.fr
Téléphone : 04 76 42 90 00
Rôles de cette organisation :
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours

11. Informations relatives à l’avis

11.1 Informations relatives à l’avis

Identifiant/version de l’avis : 9a7ca3f8-ffec-4834-b41f-04d5c63ea709 - 01
Type de formulaire : Mise en concurrence
Type d’avis : Avis de marché ou de concession – régime ordinaire
Date d’envoi de l’avis : 07/08/2024 07:31 +00:00
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible : français

11.2 Informations relatives à la publication

Numéro de publication de l’avis : 00479249-2024
Numéro de publication au JO S : 154/2024
Date de publication : 08/08/2024