Dostawa urządzenia do osadzania warstw atomowych ALD

Dostawa urządzenia do osadzania warstw atomowych ALD do Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT 1. Przedmiotem zamówienia jest dostawa urządzenia do osadzania warstw atomowych ALD do Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej, ul. Poleczki 19, 02-822 Warszawa. 2. Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia określony został w załączniku nr 2 …

CPV: 38500000 Aparatos de control y prueba
Lugar de ejecución:
Dostawa urządzenia do osadzania warstw atomowych ALD
Organismo adjudicador:
Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej
Número de premio:
CEZAMAT/ZP27/2024

1. Nabywca

1.1 Nabywca

Oficjalna nazwa : Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej
Status prawny nabywcy : Podmiot prawa publicznego
Sektor działalności instytucji zamawiającej : Edukacja

2. Procedura

2.1 Procedura

Tytuł : Dostawa urządzenia do osadzania warstw atomowych ALD
Opis : Dostawa urządzenia do osadzania warstw atomowych ALD do Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT
Identyfikator procedury : 9e5e866e-3e5f-42d2-996c-2b9905ff921c
Poprzednie ogłoszenie : 557892-2024
Wewnętrzny identyfikator : CEZAMAT/ZP27/2024
Rodzaj procedury : Otwarta
Procedura jest przyspieszona : nie
Uzasadnienie procedury przyspieszonej :
Główne aspekty procedury :

2.1.1 Przeznaczenie

Charakter zamówienia : Dostawy
Główna klasyfikacja ( cpv ): 38500000 Aparatura kontrolna i badawcza

2.1.2 Miejsce realizacji

Miejscowość : Warszawa
Podpodział krajowy (NUTS) : Miasto Warszawa ( PL911 )
Kraj : Polska

2.1.4 Informacje ogólne

Informacje dodatkowe : Dokumenty i oświadczenia wymagane od Wykonawców określa SWZ. Oświadczenie o niepodleganiu wykluczeniu z postępowania na podstawie art. 5k rozporządzenia Rady (UE) nr 833/2014 i art. 7 Ustawy o szczególnych rozwiązaniach w zakresie przeciwdziałaniu wspierania agresji na Ukrainę należy złożyć wraz ofertą. Pozostałe podmiotowe środki dowodowe (w tym JEDZ) składa tylko Wykonawca, którego oferta została najwyżej oceniona na wezwanie Zamawiającego. Zgodnie z art. 257 pkt 1 Pzp, Zamawiający przewiduje możliwość unieważnienia przedmiotowego postępowania, jeżeli środki, które Zamawiający zamierzał przeznaczyć na sfinansowanie całości lub części zamówienia, nie zostały mu przyznane
Podstawa prawna :
Dyrektywa 2014/24/UE

5. Część zamówienia

5.1 Techniczny ID partii : LOT-0001

Tytuł : Dostawa zestawu urządzeń do osadzania warstw atomowych ALD
Opis : 1. Przedmiotem zamówienia jest dostawa urządzenia do osadzania warstw atomowych ALD do Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej, ul. Poleczki 19, 02-822 Warszawa. 2. Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia określony został w załączniku nr 2 do SWZ – Opis przedmiotu zamówienia.

5.1.1 Przeznaczenie

Charakter zamówienia : Dostawy
Główna klasyfikacja ( cpv ): 38500000 Aparatura kontrolna i badawcza
Opcje :
Opis opcji : Zamawiający przewiduje prawo opcji polegające na rozszerzeniu zakresu zamówienia według poniższego zestawienia: I. Rozbudowa o moduł pomiaru emisji optycznej na potrzeby kontroli procesów: 1. możliwość podłączenie modułu pomiaru emisji optycznej do portu wyszczególnionego powyżej 2. moduł wyposażony w wymienny filtr optyczny dla wybranej długości fali 3. zakres spektralny 200-800 nm lub szerszy 4. oprogramowanie pozwalające na zbieranie danych z modułu pomiaru emisji optycznej II. Dodatkowa linia bezpiecznego gazu procesowego: 1. linia gazu procesowego musi być wyposażona co najmniej w: a. kontroler przepływu b. zawór niskiego ciśnienia umieszczony za kontrolerem przepływu c. filtr cząstek stałych o rozmiarze ok. 2 µm 2. wszystkie linie gazowe muszą być elektropolerowane i spawane orbitalnie III. Dodatkowa linia niebezpiecznego gazu procesowego 1. każda linia gazu procesowego musi być wyposażona co najmniej w: a. kontroler przepływu b. zawór niskiego ciśnienia umieszczony za kontrolerem przepływu c. filtr cząstek stałych o rozmiarze ok. 2 µm 2. każda linia niebezpiecznego gazu procesowego (gazy wybuchowe, toksyczne itp.) musi być dodatkowo wyposażona w: a. monitorowany i sterowany przez oprogramowanie zawór zabezpieczający umieszczony przed kontrolerem przepływu b. obejście kontrolera przepływu umożliwiające wypłukanie linii obojętnym gazem 3. wszystkie linie gazowe muszą być elektropolerowane i spawane orbitalnie IV. Komplet części eksploatacyjnych obejmujący co najmniej standardowy zestaw części stosowany podczas przeglądu prewencyjnego urządzenia V. 5 sztuk okienek stosowanych w portach bocznych komory wraz z zestawem uszczelek i filtrów (jeśli są tam stosowane) VI. Dodatkowy zestaw wewnętrznych osłon komory VII. Prekursory do procesów osadzania o objętości 150 ml każda : 1. SiO2 2. SiN 3. TiN 4. TiO2 5. Al2O3 6. MoS2 7. MgF2 8. HfO2 9. ZnO

5.1.2 Miejsce realizacji

Adres pocztowy : ul. Poleczki 19
Miejscowość : Warszawa
Kod pocztowy : 02-822
Podpodział krajowy (NUTS) : Miasto Warszawa ( PL911 )
Kraj : Polska
Informacje dodatkowe :

5.1.3 Szacowany okres obowiązywania

Okres obowiązywania : 13 Miesiąc

5.1.6 Informacje ogólne

Projekt zamówienia w pełni lub częściowo finansowany z funduszy UE
Zamówienie jest objęte zakresem Porozumienia w sprawie zamówień rządowych (GPA) : nie
Informacje dodatkowe : Termin realizacji zamówienia: 1. Dostawa aparatury – nie dłużej niż 12 miesięcy od dnia zawarcia umowy 2. Instalacja aparatury – nie dłużej niż 30 dni od dnia dostawy aparatury 3. Przeprowadzenie instruktażu dla pracowników Zamawiającego - nie dłużej niż 30 dni od dnia dostawy aparatury. Zamawiający żąda od Wykonawców wniesienia wadium w wysokości 25.000,00 zł. Wykonawca przed podpisaniem umowy, zobowiązany jest do wniesienia zabezpieczenia należytego wykonania umowy, w wysokości 2% kwoty całkowitego Wynagrodzenia określonego w umowie. Zabezpieczenie służy pokryciu roszczeń z tytułu niewykonania lub nienależytego wykonania umowy.

5.1.10 Kryteria udzielenia zamówienia

Kryterium :
Rodzaj : Cena
Nazwa : Cena oferty podstawowej - bez prawa opcji (C)
Opis : Cena oferty podstawowej - bez prawa opcji Waga kryterium - 60
Waga (wartość punktowa, dokładna) : 60
Kryterium :
Rodzaj : Jakość
Nazwa : Moc generatora dolnej elektrody (ME)
Opis : Moc generatora dolnej elektrody (ME)– 10 punktów
Waga (wartość punktowa, dokładna) : 10
Kryterium :
Rodzaj : Jakość
Nazwa : Moc generatora źródła plazmy (MP)
Opis : Moc generatora źródła plazmy (MP) -15 punktów
Waga (wartość punktowa, dokładna) : 15
Kryterium :
Rodzaj : Jakość
Nazwa : Możliwość połączenia komory w zespół współpracujących komór ze wspólnym systemem ładowania i transferu próbek (P)
Opis : Możliwość połączenia komory w zespół współpracujących komór ze wspólnym systemem ładowania i transferu próbek (P) – 15 punktów.
Waga (wartość punktowa, dokładna) : 15
Opis stosowanej metody, jeżeli nie można przypisać wagi kryteriom :
Uzasadnienie, dlaczego nie określono wagi kryteriów udzielenia zamówienia :

5.1.12 Warunki udzielenia zamówienia

Informacje o terminach odwołania : Odwołanie wnosi się w terminie 10 dni od dnia przekazania informacji o czynności zamawiającego stanowiącej podstawę jego wniesienia, jeżeli informacja została przekazana przy użyciu środków komunikacji elektronicznej. Szczegółowe informacje dotyczące przysługujących wykonawcy środków ochrony prawnej zawiera dział IX ustawy Pzp.

5.1.15 Techniki

Umowa ramowa :
Brak umowy ramowej
Informacje o dynamicznym systemie zakupów :
Brak dynamicznego systemu zakupów

5.1.16 Dalsze informacje, mediacja i odwołanie

Organ odwoławczy : Krajowa Izba Odwoławcza
Organizacja udzielająca dodatkowych informacji na temat postępowania o udzielenie zamówienia : Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej
TED eSender : Publications Office of the European Union

6. Wyniki

6.1 Wyniki – ID części zamówienia : LOT-0001

Nie wyłoniono zwycięzcy, a procedura konkurencyjna została zamknięta.
Powód, dla którego nie wyłoniono zwycięzcy : Nie otrzymano żadnych ofert, wniosków o dopuszczenie do udziału lub projektów

6.1.4 Informacje statystyczne

Otrzymane oferty lub wnioski o dopuszczenie do udziału :
Rodzaj otrzymanych ofert lub wniosków : Oferty złożone drogą elektroniczną
Liczba otrzymanych ofert lub wniosków o dopuszczenie do udziału : 0

8. Organizacje

8.1 ORG-0001

Oficjalna nazwa : Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej
Numer rejestracyjny : 5250005834
Departament : Zamówienia publiczne
Adres pocztowy : ul. Poleczki 19
Miejscowość : Warszawa
Kod pocztowy : 02-822
Podpodział krajowy (NUTS) : Miasto Warszawa ( PL911 )
Kraj : Polska
Punkt kontaktowy : Sekretariat
Telefon : +48 (22) 182 10 22
Adres strony internetowej : https://www.cezamat.eu/
Adres na potrzeby wymiany informacji (URL) : https://platformazakupowa.pl/pn/pw_edu/proceedings
Role tej organizacji :
Nabywca
Organizacja udzielająca dodatkowych informacji na temat postępowania o udzielenie zamówienia

8.1 ORG-0002

Oficjalna nazwa : Krajowa Izba Odwoławcza
Numer rejestracyjny : 5262239325
Adres pocztowy : ul. Postępu 17A
Miejscowość : Warszawa
Kod pocztowy : 02-676
Podpodział krajowy (NUTS) : Miasto Warszawa ( PL911 )
Kraj : Polska
Punkt kontaktowy : Sekretariat Biura Odwołań
Telefon : +48224587801
Faks : +48224587800
Adres strony internetowej : www.uzp.gov.pl
Adres na potrzeby wymiany informacji (URL) : www.uzp.gov.pl
Role tej organizacji :
Organ odwoławczy

8.1 ORG-0000

Oficjalna nazwa : Publications Office of the European Union
Numer rejestracyjny : PUBL
Miejscowość : Luxembourg
Kod pocztowy : 2417
Podpodział krajowy (NUTS) : Luxembourg ( LU000 )
Kraj : Luksemburg
Telefon : +352 29291
Adres strony internetowej : https://op.europa.eu
Role tej organizacji :
TED eSender

11. Informacje o ogłoszeniu

11.1 Informacje o ogłoszeniu

Identyfikator/wersja ogłoszenia : fe90a256-0b9a-4fdb-93da-86d5c8668ca2 - 01
Typ formularza : Wyniki
Rodzaj ogłoszenia : Ogłoszenie o udzieleniu zamówienia lub ogłoszenie o udzieleniu koncesji – tryb standardowy
Ogłoszenie – data wysłania : 22/10/2024 06:37 +00:00
Języki, w których przedmiotowe ogłoszenie jest oficjalnie dostępne : polski

11.2 Informacje o publikacji

Numer publikacji ogłoszenia : 00642376-2024
Numer wydania Dz.U. S : 207/2024
Data publikacji : 23/10/2024