ALD-Anlage für Metalloxidschichten - PR740152-2350-W

ALD-Anlage für Metalloxidschichten ALD system for metal oxide coatings Im Rahmen des Pero-Si-Scale Projektes soll eine Anlage für die Atomlagenabscheidung (ALD) für die schnelle und flexible Abscheidung verschiedener Metalloxide auf einer Probenoberfläche (möglichst einseitige Abscheidung) von großformatigen (bis zu 210 mm x 210 mm Siliciumwafer, M12-Format) Perowskit/Silizium-Tandemsolarzellen beschafft werden. Für …

CPV: 42000000 Maquinaria industrial
Lugar de ejecución:
ALD-Anlage für Metalloxidschichten - PR740152-2350-W
Organismo adjudicador:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2
Número de premio:
PR740152-2350-W

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2
Rechtsform des Erwerbers : Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Allgemeine öffentliche Verwaltung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : ALD-Anlage für Metalloxidschichten - PR740152-2350-W
Beschreibung : ALD-Anlage für Metalloxidschichten
Kennung des Verfahrens : b5cf8c89-6627-451d-aaad-59da079b8732
Interne Kennung : PR740152-2350-W
Verfahrensart : Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein
Begründung des beschleunigten Verfahrens :
Zentrale Elemente des Verfahrens :

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 42000000 Industrielle Maschinen

2.1.2 Erfüllungsort

Stadt : Freiburg
Postleitzahl : 79110
Land, Gliederung (NUTS) : Freiburg im Breisgau, Stadtkreis ( DE131 )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

2.1.6 Ausschlussgründe

Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften :
Korruption :
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung :
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs :
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen :
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung :
Betrugsbekämpfung :
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels :
Zahlungsunfähigkeit :
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen :
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter :
Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten. :
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren :
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens :
Schwere Verfehlung im Rahmen der beruflichen Tätigkeit :
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen :
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen :
Zahlung der Sozialversicherungsbeiträge :
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit :
Entrichtung von Steuern :
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten :

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0000

Titel : ALD-Anlage für Metalloxidschichten - PR740152-2350-W
Beschreibung : Im Rahmen des Pero-Si-Scale Projektes soll eine Anlage für die Atomlagenabscheidung (ALD) für die schnelle und flexible Abscheidung verschiedener Metalloxide auf einer Probenoberfläche (möglichst einseitige Abscheidung) von großformatigen (bis zu 210 mm x 210 mm Siliciumwafer, M12-Format) Perowskit/Silizium-Tandemsolarzellen beschafft werden. Für eine inerte Prozessierung muss dabei die Handhabung der Proben (Be- und Entladen) in einer Glovebox erfolgen. Die wichtigste Schicht, die in der ALD Anlage abgeschieden werden soll, sind die elektronenleitenden SnOx-Schichten. Für eine solche 20 nm dicke SnOx-Schicht, die bei 80 °C abgeschieden wird, soll die ALD-Anlage einen Durchsatz von mindestens 6 M12-Wafern pro Stunde haben. Neben SnOx sollen auch andere Metalloxide wie Al2O3, abgeschieden werden können. Für eine sehr sanfte Abscheidung ist dabei eine thermische ALD-Abscheidung der Metalloxide mit Wasserdampf erforderlich. Da die Anlage in einem R&D Umfeld verwendet wird, wird eine entsprechende Flexibilität bei gleichzeitiger industrierelevanter Ausstattung und Beschichtungsfläche benötigt.
Interne Kennung : LOT-0000

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 42000000 Industrielle Maschinen

5.1.2 Erfüllungsort

Stadt : Freiburg
Postleitzahl : 79110
Land, Gliederung (NUTS) : Freiburg im Breisgau, Stadtkreis ( DE131 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.3 Geschätzte Dauer

Laufzeit : 12 Monat

5.1.6 Allgemeine Informationen

Vorbehaltene Teilnahme : Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben : Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.9 Eignungskriterien

Kriterium :
Art : Eignung zur Berufsausübung
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen
Kriterium :
Art : Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen
Kriterium :
Art : Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen
Kriterium :
Art : Sonstiges
Beschreibung : Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-19276661e2a-4fe4d21caa124e43
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : QUALITÄT DES TECHNISCHEN GESAMTKONZEPTES
Beschreibung : QUALITÄT DES TECHNISCHEN GESAMTKONZEPTES
Gewichtung (Prozentanteil, genau) : 65
Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : Preis
Beschreibung : Preis
Gewichtung (Prozentanteil, genau) : 35
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann :
Begründung, warum die Gewichtung der Zuschlagskriterien nicht angegeben wurde :

5.1.11 Auftragsunterlagen

Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind : Deutsch

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe

Verfahrensbedingungen :
Voraussichtliches Datum der Absendung der Aufforderungen zur Angebotseinreichung : 29/11/2024
Bedingungen für die Einreichung :
Elektronische Einreichung : Zulässig
Adresse für die Einreichung : https://vergabe.fraunhofer.de
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können : Deutsch
Elektronischer Katalog : Nicht zulässig
Varianten : Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen : Zulässig
Frist für den Eingang der Teilnahmeanträge : 26/11/2024 09:00 +01:00
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können :
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen : Siehe Vergabeunterlagen
Auftragsbedingungen :
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen : Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags : Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Elektronische Rechnungsstellung : Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt : nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet : nein
Informationen über die Überprüfungsfristen : Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion : nein

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
TED eSender : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)

8. Organisationen

8.1 ORG-7001

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2
Registrierungsnummer : DE 129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Einkauf Wissenschaftliche Geräte
Telefon : +49891205-0
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1 ORG-7004

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer : t:022894990
Postanschrift : Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53113
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-7005

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer : DE-129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 89 1205-0
Internetadresse : https://www.fraunhofer.de
Rollen dieser Organisation :
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1 ORG-7006

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1 Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : 43e68a2f-b928-4288-a514-e7fe689188d9 - 01
Formulartyp : Wettbewerb
Art der Bekanntmachung : Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 25/10/2024 12:15 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch Englisch

11.2 Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00654612-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 210/2024
Datum der Veröffentlichung : 28/10/2024