Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure par Difluorure de Xénon XeF2 en phase vapeur pour la gravure du Silicium pour le laboratoire IEMN

Le marché a pour objet l’acquisition, livraison, installation et mise en service d'un système de gravure par difluorure de Xénon XeF2 en phase vapeur pour la gravure du Silicium pour le laboratoire IEMN. Le marché est un marché de fournitures. Le marché a pour objet l’acquisition, livraison, installation et mise …

CPV: 22520000 Equipo de grabado en seco
Lugar de ejecución:
Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure par Difluorure de Xénon XeF2 en phase vapeur pour la gravure du Silicium pour le laboratoire IEMN
Organismo adjudicador:
CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
Número de premio:
202405071010

1. Acheteur

1.1 Acheteur

Nom officiel : CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
Forme juridique de l’acheteur : Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur : Enseignement

2. Procédure

2.1 Procédure

Titre : Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure par Difluorure de Xénon XeF2 en phase vapeur pour la gravure du Silicium pour le laboratoire IEMN
Description : Le marché a pour objet l’acquisition, livraison, installation et mise en service d'un système de gravure par difluorure de Xénon XeF2 en phase vapeur pour la gravure du Silicium pour le laboratoire IEMN. Le marché est un marché de fournitures.
Identifiant de la procédure : 447547d5-91b9-4cf7-8e60-7e4618618b3a
Avis précédent : 568104-2024
Identifiant interne : 202405071010
Type de procédure : Ouverte
La procédure est accélérée : non
Justification de la procédure accélérée :
Principales caractéristiques de la procédure :

2.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 22520000 Matériel de gravure sèche

2.1.2 Lieu d’exécution

Adresse postale : Installation dans la salle blanche IEMN Avenue Poincaré, Cité Scientifique
Ville : Villeneuve d'Ascq
Code postal : 596552
Subdivision pays (NUTS) : Nord ( FRE11 )
Pays : France
Informations complémentaires : Aucune caution, ni garantie ne sont exigées. Prix ferme. Paiement à 30 jours conformément à l'article R.2192-10 du code de la commande publique. Une avance pourra être versée au titulaire conformément à l’article R.2191-3 du code de la commande publique. Les candidats peuvent présenter leur offre sous forme de groupement conjoint ou solidaire, conformément aux dispositions des articles R2142-19 et R2142-20 du code de la commande publique.

2.1.4 Informations générales

Base juridique :
Directive 2014/24/UE

5. Lot

5.1 Identifiant technique du lot : LOT-0001

Titre : Acquisition, livraison, installation et mise en service d'un système de gravure par difluorure de Xénon XeF2 en phase vapeur pour la gravure du Silicium pour le laboratoire IEMN.
Description : Le marché a pour objet l’acquisition, livraison, installation et mise en service d'un système de gravure par difluorure de Xénon XeF2 en phase vapeur pour la gravure du Silicium pour le laboratoire IEMN. Le marché est un marché de fournitures.
Identifiant interne : 202405071010

5.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 22520000 Matériel de gravure sèche
Options :
Description des options : Dans le cadre de la présente consultation, les prestations éventuelles suivantes (PSE) sont demandées : - PSE n°1 (facultative) : pompe primaire avec le tombac, livré et connecté au bâti. - PSE n°2 (obligatoire) : Microscope avec une caméra - PSE n°3 (facultative) : Outil de suivi de la gravure 1 - PSE n°4 (facultative) : Outil de suivi de la gravure 2 - PSE n°5 (facultative) : Onduleur pour alimenter le PC du réacteur et l’écran en cas de coupure de courant, configuré pour arrêter le PC en cas de coupure. - PSE n°6 (facultative) : Extension de la durée de la garantie d’une (1) année supplémentaire - PSE n°7 (facultative) : Extension de la durée de la garantie de deux (2) années supplémentaires - PSE n°8 (facultative) : Contrat de maintenance d’une (1) année à l’issue de la période de garantie - PSE n°9 (facultative) : Contrat de maintenance de deux (2) années à l’issue de la période de garantie - PSE n°10 (facultative) : Contrat de maintenance de trois (3) années à l’issue de la période de garantie La réponse à la PSE n°2 est obligatoire ; faute de réponse du soumissionnaire, l’offre sera éliminée. La réponse aux autres PSE est facultative.

5.1.2 Lieu d’exécution

Adresse postale : Avenue Poincaré, Cité Scientifique
Ville : Villeneuve d'Ascq
Code postal : 596552
Subdivision pays (NUTS) : Nord ( FRE11 )
Pays : France
Informations complémentaires :

5.1.3 Durée estimée

Durée : 14 Mois

5.1.5 Valeur

Valeur estimée hors TVA : 300 000 Euro

5.1.6 Informations générales

Projet de passation de marché non financé par des fonds de l’UE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP) : oui
Informations complémentaires : Variante n°1 : Le titulaire peut proposer un échéancier de paiement pour le paiement des prestations. Le paiement des acomptes n'a pas de caractère définitif et ne peut excéder la valeur des prestations auxquelles il se rapporte. L’avance (taux et modalités de versement) n’est pas concernée par la présente variante. Dans l’absence de présentation d’un échéancier de paiement, le paiement sera réalisé après service fait (suite à l’admission définitive de l’équipement)

5.1.7 Marché public stratégique

Méthode utilisée pour réduire l’incidence environnementale : La prévention et la réduction de la pollution

5.1.10 Critères d’attribution

Critère :
Type : Prix
Nom :
Description : Prix
Pondération (pourcentage, valeur exacte) : 35
Critère :
Type : Qualité
Nom :
Description : Valeur technique
Pondération (pourcentage, valeur exacte) : 40
Critère :
Type : Qualité
Nom :
Description : Délai, installation, formation
Pondération (pourcentage, valeur exacte) : 10
Critère :
Type : Qualité
Nom :
Description : Garantie, SAV et procédés
Pondération (pourcentage, valeur exacte) : 10
Critère :
Type : Qualité
Nom :
Description : Valeur environnementale
Pondération (pourcentage, valeur exacte) : 5
Description de la méthode à utiliser si la pondération ne peut être exprimée par des critères :
Justification de l’absence d’indication de la pondération des critères d’attribution :

5.1.12 Conditions du marché public

Informations relatives aux délais de recours : Les recours susceptibles d’être introduits à l’encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d’introduction de ces recours figurent à la rubrique 5.1.12 de l’AAP (formulaire européen). La date de signature du marché est le 11.12.2024 et la date de notification du marché au titulaire est le 11.12.2024. Le présent avis d'attribution correspond à l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision Département de Tarn-et-Garonne (CE, Ass., 4 avril 2014, n°358994). Le contrat est consultable dans le respect des secrets protégés par la loi n°78-753 du 17 juillet 1978 codifiée dans le livre III du code des relations entre le public et l'administration, sur place à l'adresse indiquée à la rubrique 1.1, après une demande écrite adressée par courriel ( dr18.liste.poleachats@cnrs.fr ) au service financier et comptable de la délégation et uniquement sur prise de rendez-vous du lundi au vendredi de 9:30 à 11:30 et de 14:30 à 16:00, hors jours fériés et jours de fermeture du site.

5.1.15 Techniques

Accord-cadre :
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique :
Pas de système d’acquisition dynamique

5.1.16 Informations complémentaires, médiation et réexamen

Organisation chargée des procédures de recours : Tribunal administratif de Lille
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché : CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours : Tribunal administratif de Lille
Organisation qui signe le marché : CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
TED eSender : Publications Office of the European Union

6. Résultats

Valeur de tous les contrats attribués dans cet avis : 318 898 Euro

6.1 Résultat – Identifiants des lots : LOT-0001

Au moins un lauréat a été choisi.

6.1.2 Informations sur les lauréats

Lauréat :
Nom officiel : KLA Corporation
Offre :
Identifiant de l’offre : Offre de KLA Corporation
Identifiant du lot ou groupe de lots : LOT-0001
Valeur de l'offre : 318 898 Euro
L’offre a été classée : oui
Place sur la liste des lauréats : 1
L’offre est une variante : oui
Sous-traitance : Non
Informations relatives au marché :
Identifiant du marché : 2029332 - Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure par difluorure de Xénon XeF2 en phase vapeur pour la gravure du Silicium pour le laboratoire IEMN
Date à laquelle le lauréat a été choisi : 22/11/2024
Date de conclusion du marché : 11/12/2024
Le marché est attribué dans le contexte d’un accord-cadre : non
Organisation qui signe le marché : CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France

6.1.4 Informations statistiques

Offres ou demandes de participation reçues :
Type de soumissions reçues : Offres
Nombre d’offres ou de demandes de participation reçues : 2

8. Organisations

8.1 ORG-0001

Nom officiel : CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
Numéro d’enregistrement : 180 089 013 03894
Département : Nord
Adresse postale : 43 avenue le Corbusier BP 30123
Ville : Lille Cedex
Code postal : 59001
Subdivision pays (NUTS) : Nord ( FRE11 )
Pays : France
Point de contact : Pôle Achats et Marchés Publics
Adresse électronique : dr18.liste.poleachats@dr18.cnrs.fr
Téléphone : 0320125800
Adresse internet : https://www.cnrs.fr
Profil de l’acheteur : https://www.marches-publics.gouv.fr
Rôles de cette organisation :
Acheteur
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché
Organisation qui signe le marché

8.1 ORG-0002

Nom officiel : Tribunal administratif de Lille
Numéro d’enregistrement : 17590003400026
Adresse postale : 5 Rue Geoffroy Saint-Hilaire CS 6203
Ville : Lille
Code postal : 59000
Subdivision pays (NUTS) : Nord ( FRE11 )
Pays : France
Adresse électronique : greffe.ta-lille@juradm.fr
Téléphone : 0359542342
Rôles de cette organisation :
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours

8.1 ORG-0003

Nom officiel : KLA Corporation
Numéro d’enregistrement : 0425641110
Adresse postale : 1, Technology Drive
Ville : Milpitas
Code postal : 95035
Pays : États-Unis
Rôles de cette organisation :
Soumissionnaire
Lauréat de ces lots : LOT-0001

8.1 ORG-0000

Nom officiel : Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement : PUBL
Ville : Luxembourg
Code postal : 2417
Subdivision pays (NUTS) : Luxembourg ( LU000 )
Pays : Luxembourg
Adresse électronique : ted@publications.europa.eu
Téléphone : +352 29291
Adresse internet : https://op.europa.eu
Rôles de cette organisation :
TED eSender

11. Informations relatives à l’avis

11.1 Informations relatives à l’avis

Identifiant/version de l’avis : f80b6f4c-5bf7-4394-bbaf-1d41f42c8922 - 01
Type de formulaire : Résultats
Type d’avis : Avis d’attribution de marché ou de concession – régime ordinaire
Date d’envoi de l’avis : 16/12/2024 08:52 +00:00
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible : français

11.2 Informations relatives à la publication

Numéro de publication de l’avis : 00773217-2024
Numéro de publication au JO S : 245/2024
Date de publication : 17/12/2024