Messsystem zur elektrischen Charakterisierung von Halbleiterbauelementen / Semiconductor Parameter Analyzer Beschaffung eines modularen Messsystems zur elektrischen Charakterisierung von Halbleiterbauelementen / Semiconductor Parameter Analyzer für den bestehenden und zukünftigen zentralen Reinraum der Naturwissenschaftlich-Technischen Fakultät der Universität Siegen. Das Messystem dient in den universitären Forschungsschwerpunkten der Sensorik sowie der Materialwissenschaften als zentraler …
Fourniture d'un équipement de dépôt et de gravure par faisceaux d'ions Fourniture équipement dépot et gravure
La présente consultation a pour objet la fourniture d'un microscope à force atomique automatique. Les options suivantes sont susceptibles d’être affermies dès la notification du marché : • Options avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : Formation maintenance niveau 1 pour deux personnes conformément à l’article 9 du cahier …
Le CEA-Leti désire s’équiper d’un instrument de métrologie par spectroscopie de photoélectrons X (XPS) pour le contrôle en ligne de l’épaisseur, de la composition et des états de liaisons de matériaux déposés en couches minces pour les nœuds technologiques 10 nm et en-deçà. Cet équipement sera installé en salle blanche …
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement 300 mm de dépôts métalliques pour les applications BEOL. Il est destiné à réaliser des étapes de pre-clean (retrait CuOx), dépôts barrier TaN, liner Co et Cu seed pour les interconnexions cuivre avancées, telles que requises pour les nœuds technologiques FDSOI 7 nm …
La présente consultation a pour objet la fourniture d’un équipement de mesure de la concentration de bains d’electroplating cobalt pour l'Institut LETI du CEA. Les options suivantes sont susceptibles d’être affermies dès la notification du marché : - Options à chiffrage obligatoire : o Option n°1 : la formation à …
Pour ses activités de recherche visant à développer le 10nm et au-delà avec technologies SOI fully-depleted, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de tests sous pointes Pour ses activités de recherche visant à développer le 10nm et au-delà avec technologies SOI fully-depleted, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de tests …
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des applications sans contamination métallique pour être utilisé en début de chaine de fabrication des puces. Les matériaux concernés par ce type de polissage sont l’oxyde de silicium, le nitrure et …
Dans le cadre de ses activités de R&D pour le FDSOI à 10 nm et en deçà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de diffraction entièrement automatisé, compatible salle blanche, avec une source haute brillance de type anode tournante pour des mesures plein champ rapides, et une source microfaisceau pour …
Pour ses activités de recherche, l'Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG) du CEA de Grenoble souhaite acquérir et faire installer un cryo-microscope à double faisceaux (cryo-MEB/FIB). Pour ses activités de recherche, l'IRIG de Grenoble souhaite acquérir et faire installer un cryo-microscope à double faisceaux (cryo-MEB/FIB).