ICP3 Ionenätzanlage FIRST ETH Zürich

Lieferung einer reaktiven Ionenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma, bestehend aus einem Gasversorgungssystem für mindestens 9 Gase, mit Prozessdruck bis 100 mtorr und Gasflüssen bis 500 sccm, RF/ICP-Generatoren im kW-Bereich mit Autotuning, spektroskopischer Überwachung des Plasmas, automatischer Ladeschleuse für schnelle Beladung, für Probengrößen ab 4 Zoll Durchmesser, mit Probentemperaturregelung im Bereich …

CPV: 38000000 Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)
Place of execution:
ICP3 Ionenätzanlage FIRST ETH Zürich
Awarding body:
ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
Award number:
bc0a3ccd-35a0-4853-9a03-2e217eab5db7

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
Rechtsform des Erwerbers : Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Bildung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : ICP3 Ionenätzanlage FIRST ETH Zürich
Beschreibung : Lieferung einer reaktiven Ionenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma, bestehend aus einem Gasversorgungssystem für mindestens 9 Gase, mit Prozessdruck bis 100 mtorr und Gasflüssen bis 500 sccm, RF/ICP-Generatoren im kW-Bereich mit Autotuning, spektroskopischer Überwachung des Plasmas, automatischer Ladeschleuse für schnelle Beladung, für Probengrößen ab 4 Zoll Durchmesser, mit Probentemperaturregelung im Bereich von 10 bis 300 °C.
Kennung des Verfahrens : bc0a3ccd-35a0-4853-9a03-2e217eab5db7
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Begründung des beschleunigten Verfahrens :
Zentrale Elemente des Verfahrens :

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

2.1.4 Allgemeine Informationen

Zusätzliche Informationen : Begründung des Zuschlagentscheides Die Zuschlagsempfängerin hat die höchste Punktzahl aller eingereichten Angebote erzielt. Insbesondere bei den Lebenszykluskosten wie Unterhaltskosten und Energieverbrauch war ihr Angebot das beste.
Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0000

Titel : ICP3 Ionenätzanlage FIRST ETH Zürich
Beschreibung : Lieferung einer reaktiven Ionenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma, bestehend aus einem Gasversorgungssystem für mindestens 9 Gase, mit Prozessdruck bis 100 mtorr und Gasflüssen bis 500 sccm, RF/ICP-Generatoren im kW-Bereich mit Autotuning, spektroskopischer Überwachung des Plasmas, automatischer Ladeschleuse für schnelle Beladung, für Probengrößen ab 4 Zoll Durchmesser, mit Probentemperaturregelung im Bereich von 10 bis 300 °C.

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Optionen :
Beschreibung der Optionen : Details siehe Ausschreibeunterlagen.

5.1.2 Erfüllungsort

Stadt : Zürich ETH Hönggerberg
Postleitzahl : 8093
Land, Gliederung (NUTS) : Zürich ( CH040 )
Land : Schweiz
Zusätzliche Informationen :

5.1.3 Geschätzte Dauer

Datum des Beginns : 06/01/2025
Enddatum der Laufzeit : 30/06/2025

5.1.4 Verlängerung

Maximale Verlängerungen : 1
Weitere Informationen zur Verlängerung : Siehe Optionen.

5.1.6 Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung :
Beschreibung : Zuschlagskriterien
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann : Die Zuschlagskriterien wurden den Anbietern mit der Ausschreibung zugestellt.
Begründung, warum die Gewichtung der Zuschlagskriterien nicht angegeben wurde :

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe

Informationen über die Überprüfungsfristen : Rechtsmittelbelehrung Gegen diese Verfügung kann gemäss Art. 56 Abs. 1 des Bundesgesetzes über das öffentliche Beschaffungswesen (BöB) innert 20 Tagen seit Eröffnung schriftlich Beschwerde beim Bundesverwaltungsgericht, Postfach, 9023 St. Gallen, erhoben werden. Die Beschwerde ist im Doppel einzureichen und hat die Begehren, deren Begründung mit Angabe der Beweismittel sowie die Unterschrift der beschwerdeführenden Person oder ihrer Vertretung zu enthalten. Eine Kopie der vorliegenden Verfügung und vorhandene Beweismittel sind beizulegen. Die Bestimmungen des Verwaltungsverfahrensgesetzes (VwVG) über den Fristenstillstand finden gemäss Art. 56 Abs. 2 BöB keine Anwendung.

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Bundesverwaltungsgericht -
Informationen über die Überprüfungsfristen : Rechtsmittelbelehrung Gegen diese Verfügung kann gemäss Art. 56 Abs. 1 des Bundesgesetzes über das öffentliche Beschaffungswesen (BöB) innert 20 Tagen seit Eröffnung schriftlich Beschwerde beim Bundesverwaltungsgericht, Postfach, 9023 St. Gallen, erhoben werden. Die Beschwerde ist im Doppel einzureichen und hat die Begehren, deren Begründung mit Angabe der Beweismittel sowie die Unterschrift der beschwerdeführenden Person oder ihrer Vertretung zu enthalten. Eine Kopie der vorliegenden Verfügung und vorhandene Beweismittel sind beizulegen. Die Bestimmungen des Verwaltungsverfahrensgesetzes (VwVG) über den Fristenstillstand finden gemäss Art. 56 Abs. 2 BöB keine Anwendung.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services -

6. Ergebnisse

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge : 482 245 Euro

6.1 Ergebnis, Los-– Kennung : LOT-0000

Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.

6.1.2 Informationen über die Gewinner

Wettbewerbsgewinner :
Offizielle Bezeichnung : DE_Oxford Instruments GmbH
Angebot :
Kennung des Angebots : ffc1575d-7365-4220-aaf6-a312b68be743
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen : LOT-0000
Wert der Ausschreibung : 482 245 Euro
Das Angebot wurde in die Rangfolge eingeordnet : nein
Bei dem Angebot handelt es sich um eine Variante : nein
Vergabe von Unteraufträgen : Nein
Informationen zum Auftrag :
Kennung des Auftrags : N/A
Datum des Vertragsabschlusses : 15/03/2025

6.1.4 Statistische Informationen

Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge :
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 3
Bandbreite der Angebote :
Wert des niedrigsten zulässigen Angebots : 482 245 Euro
Wert des höchsten zulässigen Angebots : 482 245 Euro

8. Organisationen

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
Registrierungsnummer : 61954326-5903-4579-952a-0dc9600ab1e4
Postanschrift : Binzmühlestrasse 130
Stadt : Zürich
Postleitzahl : 8092
Land, Gliederung (NUTS) : Zürich ( CH040 )
Land : Schweiz
Telefon : +41446321111
Internetadresse : https://www.ethz.ch
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0002

Offizielle Bezeichnung : Bundesverwaltungsgericht
Registrierungsnummer : BVGER
Postanschrift : Postfach
Stadt : St. Gallen
Postleitzahl : 9023
Land, Gliederung (NUTS) : St. Gallen ( CH055 )
Land : Schweiz
Telefon : +41584652626
Internetadresse : https://www.bvger.ch
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-0003

Offizielle Bezeichnung : Simap.ch
Registrierungsnummer : CH001
Postanschrift : Holzikofenweg 36
Stadt : Bern
Postleitzahl : 3003
Land, Gliederung (NUTS) : Bern / Berne ( CH021 )
Land : Schweiz
Telefon : +41584646388
Internetadresse : https://www.simap.ch
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

8.1 ORG-0010

Offizielle Bezeichnung : DE_Oxford Instruments GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers : Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer : 42549d8c-2fd3-4a4f-9283-ba25a5ff38c5
Postanschrift : Borsigstr. 15 a
Stadt : Wiesbaden
Postleitzahl : 65205
Land, Gliederung (NUTS) : Wiesbaden, Kreisfreie Stadt ( DE714 )
Land : Deutschland
Rollen dieser Organisation :
Bieter
Gewinner dieser Lose : LOT-0000

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1 Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : 3a3f01ed-0af5-46dd-85e0-b2aca947f570 - 01
Formulartyp : Ergebnis
Art der Bekanntmachung : Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 15/03/2025 02:25 +01:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch Französisch, Englisch

11.2 Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00173877-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 54/2025
Datum der Veröffentlichung : 18/03/2025