Equipment- & Prozessspezifikationen Wafer Level Rasterkraftmikroskop für optische Absorptionsmessungen mit nm-Auflösung - PR659318 - 3340 - W

PR659318 - 3340 - W Equipment- & Prozessspezifikationen Wafer Level Rasterkraftmikroskop für optische Absorptionsmessungen mit nm-Auflösung / Photoinduced Force Mircroscopy PiFM Diese Spezifikation beschreibt die Anforderungen an ein Mess- und Analysewerkzeug für die Waferfertigung bei FRAUNHOFER ENAS. Das System wird für die Bearbeitung von MEMS-Wafern in einem CMOS-kompatiblen Reinraum der …

CPV: 38600000 Optical instruments
Place of execution:
Equipment- & Prozessspezifikationen Wafer Level Rasterkraftmikroskop für optische Absorptionsmessungen mit nm-Auflösung - PR659318 - 3340 - W
Awarding body:
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Award number:
PR659318 - 3340 - W

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers : Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Allgemeine öffentliche Verwaltung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Equipment- & Prozessspezifikationen Wafer Level Rasterkraftmikroskop für optische Absorptionsmessungen mit nm-Auflösung - PR659318 - 3340 - W
Beschreibung : PR659318 - 3340 - W Equipment- & Prozessspezifikationen Wafer Level Rasterkraftmikroskop für optische Absorptionsmessungen mit nm-Auflösung / Photoinduced Force Mircroscopy PiFM
Kennung des Verfahrens : 89476e15-17c3-4b59-b842-789df31481f9
Interne Kennung : PR659318 - 3340 - W
Verfahrensart : Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein
Begründung des beschleunigten Verfahrens :
Zentrale Elemente des Verfahrens :

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38600000 Optische Instrumente

2.1.2 Erfüllungsort

Stadt : Chemnitz
Postleitzahl : 09126
Land, Gliederung (NUTS) : Chemnitz, Kreisfreie Stadt ( DED41 )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0000

Titel : Equipment- & Prozessspezifikationen Wafer Level Rasterkraftmikroskop für optische Absorptionsmessungen mit nm-Auflösung - PR659318 - 3340 - W
Beschreibung : Diese Spezifikation beschreibt die Anforderungen an ein Mess- und Analysewerkzeug für die Waferfertigung bei FRAUNHOFER ENAS. Das System wird für die Bearbeitung von MEMS-Wafern in einem CMOS-kompatiblen Reinraum der Klasse 6 EN ISO 14644-1 und einer Produktionsumgebung eingesetzt. 2. Die detaillierte Konfiguration ist vom Anbieter nach dem aktuellen Stand der Technik zu bestimmen, um alle Spezifikationen zu erfüllen. Die detaillierte Endkonfiguration muss zwischen dem Anbieter und FRAUNHOFER ENAS vereinbart werden. 3. Wird ein Artikel / Wert als optional deklariert, so muss dieser als separate Position im Angebot inklusive der entsprechenden Kosten angegeben werden. 4. Der Anbieter kann zusätzliche Optionen im Angebot angeben, wenn diese die Leistung oder Flexibilität des Systems im Hinblick auf die Anforderungen in EPS verbessern.
Interne Kennung : LOT-0000

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38600000 Optische Instrumente

5.1.2 Erfüllungsort

Stadt : Chemnitz
Postleitzahl : 09126
Land, Gliederung (NUTS) : Chemnitz, Kreisfreie Stadt ( DED41 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.6 Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Lieferzeit
Beschreibung : Lieferzeit
Gewichtung (Prozentanteil, genau) : 10
Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Techniche Ausführung
Beschreibung : Techniche Ausführung
Gewichtung (Prozentanteil, genau) : 45
Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : Preis
Beschreibung : Preis
Gewichtung (Prozentanteil, genau) : 45
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann :
Begründung, warum die Gewichtung der Zuschlagskriterien nicht angegeben wurde :

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
TED eSender : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)

6. Ergebnisse

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge : 0,01 Euro

6.1 Ergebnis, Los-– Kennung : LOT-0000

Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.

6.1.2 Informationen über die Gewinner

Wettbewerbsgewinner :
Offizielle Bezeichnung : Anfatec Instruments AG
Angebot :
Kennung des Angebots : TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen : LOT-0000
Vergabe von Unteraufträgen : Nein
Informationen zum Auftrag :
Kennung des Auftrags : CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses : 28/10/2024
Der Auftrag wird als Teil einer Rahmenvereinbarung vergeben : nein

6.1.4 Statistische Informationen

Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge :
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1

8. Organisationen

8.1 ORG-7001

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer : DE 129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Einkauf Wissenschaftliche Geräte
Telefon : +49891205-0
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1 ORG-7004

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer : t:022894990
Postanschrift : Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53113
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-7005

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer : DE_129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 89 1205-0
Internetadresse : https://www.fraunhofer.de
Rollen dieser Organisation :
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : Anfatec Instruments AG
Größe des Wirtschaftsteilnehmers : Kleines Unternehmen
Registrierungsnummer : DE244476092
Postanschrift : Melanchthonstr. 28
Stadt : Oelsnitz
Postleitzahl : 08606
Land, Gliederung (NUTS) : Vogtlandkreis ( DED44 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 3742124212
Fax : +49 3742124212
Rollen dieser Organisation :
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer
Gewinner dieser Lose : LOT-0000

8.1 ORG-7006

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1 Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : 7bdfa136-1f36-4cad-bf62-a59a1c4b4c47 - 01
Formulartyp : Ergebnis
Art der Bekanntmachung : Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 28/10/2024 13:04 +01:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch

11.2 Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00657807-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 211/2024
Datum der Veröffentlichung : 29/10/2024