Trockenätzcluster 1 Stk Trockenätzcluster mit Optionen: 4.4 Abscheidung von Poly-/ α-Silicium und TEOS-Schichten 5.1.4 Ätzen weiterer Metalle (wie Pt, Hf, W, Ge, Ni, einsilizidierte Ni) Beschreibung, welche weiteren Metalle in der vorliegenden Konfiguration geätzt werden können 6.4.7 Anisotropes Ätzen von SiO2 und Si3N4