FBH_Hook-Up:Stepper 3_techn. Gase Der Auftraggeber, das Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik ( FBH), betreibt auf dem Grundstück Max-Plank-Straße 3 in 12489 Berlin des Zentrums für Mikrosystemtechnik und Materialien, Bauteil 05 den Reinraum-2. Der Reinraum-2 inkl. Graubereiche hat eine Grundfläche von 1.100 m². Hier sind bereits ca. 60 Prozessanlagen installiert und in …