Popis
:
V rámci tohoto kritéria budou hodnocena níže uvedená subkritéria: Č. Subkritérium - Počet rozdělovaných bodů 2.1 Jas zdroje elektronů CFEG - 5 2.2 Bodové rozlišení v TEM módu - 5 2.3 Počet segmentů STEM detektoru - 5 2.4 Rozlišení ve STEM módu - 10 2.5 Počet energiových kanálů EELS - 10 2.6 Počet synchronních spekter EELS - 10 2.7 Spektrální rozsah EELS - 5 2.8 Spektrální rozsah EELS při nízkém napětí - 5 2.9 Rychlost EELS - 5 2.10 Spektrální rozlišení EDS - 10 2.11 Kapacita systému na kapalný dusík - 2 2.12 Bezolejový vakuový systém - 2 2.13 Integrální diferenciální fázový kontrast - 5 2.14 Kompatibilita pro in-situ charakterizace procesů - 3 2.15 Charakterizace pomocí 4D STEM - 5 2.16 Charakterizace v módu EFTEM - 4 2.17 Synchronní sběr dat EELS/EDS - 5 2.18 SE/BE detektor - 2 2.19 Iontová čistička - 2 2.1 Jas zdroje elektronů CFEG Bude hodnocen jas elektronového děla (polem řízené studené katody, CFEG), kterého nabízené zařízení umožňuje dosáhnout. Vyšší hodnota je předpokladem celkově zřetelnější obrazové kvality. Hodnocena bude hodnota v A/cm2/Sr. 2.2 Bodové rozlišení v TEM módu Bude hodnoceno bodové rozlišení v TEM módu, kterého nabízené zařízení umožňuje dosáhnout při napětí 200 kV. Rozlišení v TEM módu, kterého nabízené zařízení umožňuje dosáhnout, musí být maximálně 240 pm. 2.3 Počet segmentů STEM detektoru Požadujeme vysoce kvalitní STEM detektor, kterým je systém vybaven. Toto je umožněno segmentací detektoru. Bude hodnocen počet segmentů STEM detektoru, kterým nabízený detektor disponuje. Počet segmentací STEM detektoru musí být minimálně 8. 2.4 Rozlišení ve STEM módu Bude hodnoceno rozlišení v STEM módu, kterého nabízené zařízení umožňuje dosáhnout při napětí 200 kV. Rozlišení v STEM módu, kterého nabízené zařízení umožňuje dosáhnout, musí být maximálně 71 pm. 2.5 Počet energiových kanálů EELS Bude hodnoceno, kolik kanálů tvoří EELS (Electron Energy Loss Spectroscopy) detektor napříč energiovým rozsahem. Počet kanálů/pixelů EELS detektoru v této ose musí být minimálně 1024. 2.6 Počet synchronních spekter EELS Bude hodnocena schopnost detektoru snímat současně víc než jedno EELS spektrum. Hodnocen bude počet spekter EELS, jež umožňuje nabízený systém snímat synchronně 2.7 Spektrální rozsah EELS Bude hodnocen energiový rozsah EELS při hodnotě napětí 200 kV, kterého nabízený systém umožňuje dosáhnout. Energiový rozsah rozsah EELS při hodnotě napětí 200 kV, kterého nabízený systém umožňuje dosáhnout, musí být minimálně 3 keV. 2.8 Spektrální rozsah EELS při nízkém napětí Bude hodnocen energiový rozsah EELS při hodnotě napětí 60 kV, kterého nabízený systém umožňuje dosáhnout. Energiový rozsah EELS při hodnotě napětí 60 kV, kterého nabízený systém umožňuje dosáhnout, musí být minimálně 0,6 keV. 2.9 Rychlost EELS Bude posuzována rychlost sběru spekter EELS, kterou je systém schopen dosáhnout. Posuzovaná bude hodnota v počtu spekter za sekundu. Minimální požadovaná hodnota je 8 000 fps (frames per second). 2.10 Spektrální rozlišení EDS Bude posuzováno energiové rozlišení EDS (Energy-dispersive X-ray spectroscopy), kterého je systém schopen dosáhnout. Hodnota energiového rozlišení EDS, kterého je systém schopen dosáhnout, musí být maximálně 136 eV. 2.11 Kapacita systému na kapalný dusík Bude hodnocena kapacita systému na kapalný dusík, jehož cílem je udržení stabilní dlouhotrvající čistoty vakua. Tato funkce bude posuzovaná podle doby, po kterou je kapalný dusík v naplněné Dewarově nádobě mikroskopu schopný udržet svoji teplotu. Doba, po kterou je kapalný dusík v naplněné Dewarově nádobě mikroskopu schopný udržet svoji teplotu, musí být minimálně 12 h. Hodnotící subkritéria 2.12 až 2.19 jsou typu ANO/NE. Pokud nabízený systém zcela splňuje danou podmínku, tedy odpověď na otázku je „ANO“, získá pro dané subkritérium uvedený počet bodů. Pokud nabízený systém danou podmínku nesplňuje, tedy odpověď na otázku je „NE“, nezíská v daném subkritériu body žádné. 2.12 Bezolejový vakuový systém Je systém vybaven bezolejovým vakuovým systémem? 2.13 Integrální diferenciální fázový kontrast Umožňuje segmentovaný STEM detektor využít segmentace detektoru k integrálnímu diferenciálnímu zobrazení fázového kontrastu za účelem zvýšení obrazové kvality a výpovědní hodnoty o jemné struktuře vzorků? 2.14 Kompatibilita pro in-situ charakterizace procesů Umožňuje systém pozdější aplikaci in situ držáků (elektrochemické, teplotní apod.), za účelem charakterizace průběhu chemických a fyzikálních procesů, přičemž mikroskop má vhodnou geometrií pólových nástavců, jejichž vzdálenost použití držáků umožňuje? 2.15 Charakterizace pomocí 4D STEM Je systém vybaven pixelovaným přímo orientovaným detektorem, který je součástí již existujícího technologického řešení metody 4D STEM (sběr difrakčních dat, jejich uložení, zpracování a zobrazení) a zároveň je možné do systému s tímto detektorem v rámci budoucího upgradu integrovat komponenty (4D STEM software, analytický PC a případné další komponenty) pro plně funkční metodu zobrazení 4D STEM? 2.16 Charakterizace v módu EFTEM Umožňuje systém zobrazení metodou EFTEM (Energy-Filtered Transmission Electron Microscopy) na detektoru EELS za účelem rychlé detekce chemických map z velkých oblastí vzorku, nebo ke zlepšení kontrastu amorfních fází vzorků filtrací elasticky rozptýlených elektronů apod.? 2.17 Synchronní sběr dat EELS/EDS Umožňuje systém synchronní sběr a zobrazení dat z EELS a EDS v jednom softwarovém rozhraní, za účelem synchronního sběru dat z obou spektroskopických detektorů? 2.18 SE/BE detektor Je přístroj vybaven dodatečným detektorem sekundárních a zpětně rozptýlených elektronů (SE/BE) v tubusu? 2.19 Iontová čistička Je součástí systému také iontová čistička vzorků plně kompatibilní s dodávanými držáky vzorků? Blíže viz zadávací podmínky